利索能及
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专利号: 201910237243X
申请人: 南京邮电大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-08-04
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.基于复合拱形梁的微波功率传感器,其特征在于,包括衬底、共面波导传输线和复合拱形梁;衬底上中间设置共面波导传输线且衬底上两边设置地线,复合拱形梁通过锚区固定在地线上且共面波导传输线位于复合拱形梁下方;所述复合拱形梁由中间的弹性材料以及上下包裹的石墨烯薄膜构成,上层石墨烯薄膜和下层石墨烯薄膜的一侧通过锚区相连,上层石墨烯薄膜和下层石墨烯薄膜的另一侧设置两个输出端口,第一输出端口与上层石墨烯薄膜相连,第二输出端口与下层石墨烯薄膜相连。

2.根据权利要求1所述的基于复合拱形梁的微波功率传感器,其特征在于,所述输出端口为电阻测量输出端口用于与电阻测试电路连接并通过测得的电阻值计算共面波导传输线上传输的微波功率的大小。

3.根据权利要求1所述的基于复合拱形梁的微波功率传感器,其特征在于,所述复合拱形梁由位于其两侧的锚区固定在地线上。

4.根据权利要求1所述的基于复合拱形梁的微波功率传感器,其特征在于,所述复合拱形梁的弧度为π/6。

5.根据权利要求1所述的基于复合拱形梁的微波功率传感器,其特征在于,所述衬底的材质为氮化镓。

6.根据权利要求1所述的基于复合拱形梁的微波功率传感器,其特征在于,所述微波功率传感器采用MEMS平面加工方法制得。