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专利号: 2019100885510
申请人: 三明学院
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-06-16
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.一种自支撑锗薄膜的制备方法,其特征在于,包括:提供硅衬底;

对所述硅衬底进行电化学刻蚀,使得所述硅衬底上生成均匀的、致密的纳米多孔洞,获得纳米多孔硅衬底;

在所述纳米多孔硅衬底上淀积一层锗薄膜;

对所述纳米多孔硅上外延锗薄膜后进行高温退火,在锗硅异质结界面处空洞发生串并;

将所述锗薄膜从所述纳米多孔硅衬底上剥离下来。

2.根据权利要求1所述的一种自支撑锗薄膜的制备方法,其特征在于,对所述硅衬底进行电化学刻蚀,使得所述硅衬底上生成均匀的、致密的纳米多孔洞,获得纳米多孔硅衬底,具体为:将所述硅衬底置于刻蚀装置的阳极;其中,所述刻蚀装置的阴极为惰性铂电极;所述刻蚀装置内的刻蚀溶液为49%HF溶液与98%酒精的混合溶液,体积比为1:1,所述阳极用于与电源的正极相连,所述阴极用于与电源的负极相连;

对所述硅衬底刻蚀预定时间,从而使得所述硅衬底上生成均匀的、致密的纳米多孔洞,获得纳米多孔硅衬底。

3.根据权利要求2所述的一种自支撑锗薄膜的制备方法,其特征在于,所述预定时间为

2-30分钟。

4.根据权利要求2所述的一种自支撑锗薄膜的制备方法,其特征在于,通过控制硅衬底的缺陷分布、电流大小、刻蚀溶液浓度来形成均匀、致密的纳米孔洞。

5.根据权利要求1所述的一种自支撑锗薄膜的制备方法,其特征在于,所述纳米孔洞的尺寸为5nm-50nm。

6.根据权利要求1所述的一种自支撑锗薄膜的制备方法,其特征在于,在所述纳米多孔硅衬底上淀积的锗薄膜的厚度1μm。

7.据权利要求1所述的一种自支撑锗薄膜的制备方法,其特征在于,所述高温退火采用循环快速热退火,所述退火的温度为500°-600°。

8.据权利要求1所述的一种自支撑锗薄膜的制备方法,其特征在于,所述对所述纳米多孔硅上外延锗薄膜后进行高温退火,在锗硅异质结界面处空洞发生串并具体为:通过退火,使得所述纳米多孔硅衬底的纳米孔洞会发生形变,在靠近异质结处孔洞会变大,当大到一定的程度孔洞之间发生串并。

9.一种锗薄膜,其特征在于,所述锗薄膜通过如权利要求1至8任意一项的自支撑锗薄膜的制备方法制备生成。