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专利号: 2018114443075
申请人: 重庆邮电大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-06-16
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种互补型结构的太赫兹超材料传感器,可用于微量液体的检测中,其特征在于,包括:介质层和附在所述介质层上的亚波长金属层,所述介质层用于支撑金属层,形成谐振腔,所述亚波长金属层上设置有超材料的亚波长金属阵列,超材料的作用在于利用其对外界环境敏感的特性,用于对折射率的传感;所述亚波长金属层的阵列包含在金属层上被挖空的一竖直空气条(1)和两水平空气条(2),两水平空气条(2)分别为左侧空气条和右侧空气条,所述竖直空气条处于金属层的中心位置,所述两个水平空气条分别位于竖直空气条的两侧,右侧空气条相对于左侧空气条有向下40.0-45.0μm的平移,形成非对称结构,明模诱导明暗模发生强耦合,产生了尖锐的透射峰,实现了类EIT效应,由于空气条是在金属层上被挖空形成的,所以竖直空气条(1)和两水平空气条(2)与亚波长金属层形成了互补结构。

2.根据权利要求1所述的一种互补型结构的太赫兹超材料传感器,其特征在于,所述超材料亚波长金属阵列以周期为300.0μm,沿着x、y方向周期性排列。

3.根据权利要求1所述的一种互补型结构的太赫兹超材料传感器,其特征在于,所述产生尖锐的透射峰是在844.4GHz处产生的。

4.根据权利要求1所述的一种互补型结构的太赫兹超材料传感器,其特征在于,所述介质层材料为高阻硅、聚酰亚胺、石英晶体中的一种,厚度为50.0-100.0um,金属层材料为为金、银、铜中的一种,厚度为3.0-5.0μm。

5.根据权利要求1-4所述的一种互补型结构的太赫兹超材料传感器,其特征在于,所述竖直空气条的长l1=170.0μm,宽w1=24.0μm,水平空气条的长l2=65.0μm,宽w2=24.0μm。

6.根据权利要求1-4所述的一种互补型结构的太赫兹超材料传感器,其特征在于,所述竖直空气条与两水平空气条的间距为45.0-48.0μm时,该结构的传感器表现出的谐振效应最强。