利索能及
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专利号: 2023117719158
申请人: 重庆邮电大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-06-16
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.一种基于超材料表面弹簧型结构的太赫兹角度传感器,其特征在于,包括:基底;以及设置在基底表面的由第一结构和两个反向放置的第二结构组成的弹簧型结构构成的单元结构;其中,所述第一结构设置在所述基底表面,两个反向放置的第二结构位于所述第一结构内,且两个反向放置的第二结构相互垂直。

2.根据权利要求1所述的基于超材料表面弹簧型结构的太赫兹角度传感器,其特征在于,所述第一结构为方形结构。

3.根据权利要求2所述的基于超材料表面弹簧型结构的太赫兹角度传感器,其特征在于,所述第二结构为L形结构。

4.根据权利要求3所述的基于超材料表面弹簧型结构的太赫兹角度传感器,其特征在于,所述第一结构和第二结构的材料为金。

5.根据权利要求3所述的基于超材料表面弹簧型结构的太赫兹角度传感器,其特征在于,所述第一结构和第二结构的厚度均为0.05微米。

6.根据权利要求3所述的基于超材料表面弹簧型结构的太赫兹角度传感器,其特征在于,所述第一结构和第二结构边框的厚度均为10微米。

7.根据权利要求3所述的基于超材料表面弹簧型结构的太赫兹角度传感器,其特征在于,所述第一结构的边框长度大于第二结构的边框长度。

8.根据权利要求7所述的基于超材料表面弹簧型结构的太赫兹角度传感器,其特征在于,所述第一结构的边框长度为130微米。

9.根据权利要求7所述的基于超材料表面弹簧型结构的太赫兹角度传感器,其特征在于,所述第二结构的边框长度为60微米。

10.根据权利要求1所述的基于超材料表面弹簧型结构的太赫兹角度传感器,其特征在于,所述基底表面的介质层的材料为聚酰亚胺薄膜。