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专利号: 2024108072694
申请人: 江西师范大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-06-16
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种高灵敏度的多功能太赫兹超材料传感器,其特征在于,所述多功能太赫兹超材料传感器由若干个相同的周期性排列的太赫兹超材料单元组成,所述太赫兹超材料单元的周期为p=60μm~65μm;

所述太赫兹超材料单元自上而下的排列依次为顶层的石墨烯图案层,中间锑化铟介质层和底层的金属反射层,其中,所述石墨烯图案层关于太赫兹超材料单元结构双轴且中心对称,所述石墨烯图案层包括两组相互嵌套的谐振单元,所述谐振单元包括第一谐振结构和第二谐振结构;所述第一谐振结构和所述第二谐振结构均由四个大小相等,双轴且中心对称的L形条片组成,所述第一谐振结构的L形条片之间的间隙范围为l1=0.5μm~1.4μm,宽度范围为w1=3μm~3.5μm,所述第二谐振结构的L形条片之间的间隙范围为l2=3.9μm~4.5μm,宽度范围为w2=6.5μm~7μm。

2.根据权利要求1所述的高灵敏度的多功能太赫兹超材料传感器,其特征在于,所述石墨烯图案层采用单层石墨烯,厚度为h1=0.34nm。

3.根据权利要求1所述的高灵敏度的多功能太赫兹超材料传感器,其特征在于,所述锑化铟介质层厚度范围为h2=5.1μm~5.5μm。

4.根据权利要求1所述的高灵敏度的多功能太赫兹超材料传感器,其特征在于,所述金属反射层厚度为0.2μm。

5.根据权利要求1所述的高灵敏度的多功能太赫兹超材料传感器,其特征在于,所述金属反射层的材料为金、银、铜中的任意一种。