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专利号: 2018113631679
申请人: 电子科技大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2025-12-17
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种碳化硅MOS栅控晶闸管,其元胞结构包括从下至上依次层叠设置的阴极金属(1)、N+衬底层(11)、N+衬底缺陷抑制缓冲层(12)、P+场截止层(3)和P-漂移区(4);所述P-漂移区(4)上层具有N阱区(5),N阱区(5)上层具有P阱区(6),P阱区(6)上层具有并列设置的P+欧姆接触区(8)和N+区(7),其中P+欧姆接触区(8)位于外侧;在P+欧姆接触区(8)上表面和部分N+区(7)上表面具有金属层(9),在N+区(7)剩余部分的表面具有氧化层(10),且氧化层(10)沿器件表面向远离金属层(9)一侧延伸,依次覆盖P阱区(6)、N阱区(5)和P-漂移区(4)的表面,在位于覆盖P阱区(6)、N阱区(5)和P-漂移区(4)表面的氧化层(10)上层,具有栅极金属(14);

其特征在于,所述P+场截止层(3)与N+衬底缺陷抑制缓冲层(12)之间还具有N-注入增强缓冲层(13),所述N-注入增强缓冲层(13)的掺杂浓度低于P+场截止层(3)的掺杂浓度,用于增加阴极结构中的少数载流子扩散长度,进而增大阴极注入效率。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅MOS栅控晶闸管,其特征在于,所述N-注入增强缓冲层(13)厚度范围为2~20μm,掺杂浓度范围为1e16~1e18cm-3。