1.一种硅基纳米多孔硅单凸透镜的制备方法,其特征在于,该方法是将常规双槽腐蚀时使用两个圆柱形薄铂片作为电极,且在两个平行电极之间放置圆形硅片,硅片中心轴线、两个圆形平板薄铂片中心轴线三者重合,硅片离左、右两个电极的距离相等,硅片将腐蚀液分隔成两个独立的部分;先采用恒流源对硅片进行电化学腐蚀形成圆柱形多孔硅薄膜;然后将圆柱形的多孔硅膜浸入氢氧化钠溶液中,并以圆柱形的多孔硅薄膜的中心轴为自旋转轴旋转圆柱形多孔硅,导致硅基多孔硅圆柱形成由多孔硅材料构成的单面凸透镜。
2.根据权利要求1所述的硅基纳米多孔硅单凸透镜的制备方法,其特征在于,上述电化学腐蚀的具体过程是:首先,使用恒流腐蚀电流对硅片进行电化学腐蚀形成圆柱形多孔硅薄膜,一方面,在正常的恒流腐蚀电流密度条件下,对硅片表面进行电化学腐蚀,形成圆柱形的多孔硅薄膜;其次,在圆柱形的多孔硅薄膜完成后,将其浸入氢氧化钠溶液中,并以圆柱形的多孔硅薄膜的中心轴为自旋转轴顺时针、逆时针交替旋转圆柱形多孔硅,由于离自旋转轴越远,多孔硅薄膜表面与氢氧化钠溶液反应越强烈,从而腐蚀掉的多孔硅材料越多,腐蚀越深,导致硅基多孔硅圆柱形成由多孔硅材料构成的单面凸透镜。
3.根据权利要求2所述的硅基纳米多孔硅单凸透镜的制备方法,其特征在于,以圆柱形的多孔硅薄膜的中心轴为自旋转轴自旋的平均角速度为0.1 100*2π/S。
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4.根据权利要求3所述的硅基纳米多孔硅单凸透镜的制备方法,其特征在于,顺、逆时针交替旋转圆柱形多孔硅的频率为0.01 1Hz。
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5.根据权利要求2或3或4所述的硅基纳米多孔硅单凸透镜的制备方法,其特征在于,氢氧化钠溶液的浓度为0.1 5%。
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