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专利号: 2018110888277
申请人: 陕西科技大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2024-10-29
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种高铁磁性的LSMO薄膜的制备方法,其特征在于,采用溶胶-凝胶旋涂法制备得到La0.7Sr0.3MnO3湿膜,以10~20℃/min的升温速率升温至350~400℃进行预退火,再以10~

20℃/min的升温速率升温至600~620℃下退火,制备得到La0.7Sr0.3MnO3薄膜。

2.根据权利要求1所述的高铁磁性的LSMO薄膜的制备方法,其特征在于,具体包括以下步骤:步骤1,将La(NO3)3·6H2O、Sr(NO3)2和C4H6MnO4·4H2O按摩尔比为0.7:0.3:1溶于乙二醇甲醚中,再加入水搅拌至完全溶解,然后加入醋酸酐并搅拌,静置得到La0.7Sr0.3MnO3前驱液;

步骤2,用旋涂法在FTO/Glass基板上旋涂La0.7Sr0.3MnO3前驱液,得到La0.7Sr0.3MnO3湿膜,将湿膜在150~170℃下烘烤得干膜,以10℃/min的升温速率升温至350~400℃时进行预退火,再于600~620℃下退火,得到晶态La0.7Sr0.3MnO3薄膜;

步骤3,待晶态La0.7Sr0.3MnO3薄膜自然降温后,在晶态La0.7Sr0.3MnO3薄膜上重复步骤2,达到预设厚度,即得到La0.7Sr0.3MnO3薄膜。

3.根据权利要求2所述的高铁磁性的LSMO薄膜的制备方法,其特征在于,步骤1中,加入醋酸酐之后再加入聚乙二醇,搅拌均匀,静置得到La0.7Sr0.3MnO3前驱液。

4.根据权利要求3所述的高铁磁性的LSMO薄膜的制备方法,其特征在于,聚乙二醇与醋酸酐的体积比为(0~0.75):(1~1.1)。

5.根据权利要求2所述的高铁磁性的LSMO薄膜的制备方法,其特征在于,步骤1中,La0.7Sr0.3MnO3前驱液中金属离子的总浓度为0.3~0.4mol/L。

6.根据权利要求2所述的高铁磁性的LSMO薄膜的制备方法,其特征在于,La0.7Sr0.3MnO3前驱液中乙二醇甲醚和醋酸酐的体积比为(2.5~3):(1~1.1)。

7.根据权利要求2所述的高铁磁性的LSMO薄膜的制备方法,其特征在于,步骤2中的匀胶转速为3500~3800r/min,匀胶时间为10~15s。

8.根据权利要求2所述的高铁磁性的LSMO薄膜的制备方法,其特征在于,步骤2中匀胶后的烘烤时间为8~10min。

9.根据权利要求2所述的高铁磁性的LSMO薄膜的制备方法,其特征在于,步骤2中的预退火时间为15~20min,退火时间为25~35min。

10.一种高铁磁性的LSMO薄膜,其特征在于,采用权利要求1-9任一项所述的制备方法得到,为菱方钙钛矿结构,空间群R3c,沿着(101)方向的取向生长,其饱和磁化值Ms为

160.12emu/cm3。