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专利号: 2018110880608
申请人: 陕西科技大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-06-16
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种具有电阻开关效应的BEFMO/ZCO复合异质结,其特征在于,包括复合在一起的下层膜和上层膜;下层膜化学式为Zn1-xCuxO,六角纤锌矿结构,x=0.01~0.09;上层膜化学式为Bi0.9Er0.1Fe0.99Mn0.01O3,扭曲的菱方钙钛矿结构,空间群R3c。

2.根据权利要求1所述的具有电阻开关效应的BEFMO/ZCO复合异质结,其特征在于,高低阻态开关比RHRS/RLRS为2.63~10.30。

3.根据权利要求1所述的具有电阻开关效应的BEFMO/ZCO复合异质结,其特征在于,在室温下测试频率为100Hz时,其介电常数为16.58~22.10。

4.一种权利要求1-3任一项所述的具有电阻开关效应的BEFMO/ZCO复合异质结的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤1,将C4H6O4Zn·2H2O和C4H6CuO4Zn·H2O溶于乙二醇甲醚和乙醇胺的混合液中,搅拌均匀,得到ZCO前驱液;

步骤2,采用旋涂法在FTO/Glass基板上旋涂ZCO前驱液,得到ZCO湿膜,湿膜经匀胶后在

285~310℃烘烤得干膜,再于545~560℃下退火得到晶态ZCO薄膜;

步骤3,待晶态ZCO薄膜降温后,在晶态ZCO薄膜上重复步骤2,达到预设厚度,即得到ZCO薄膜;

步骤4,将Bi(NO3)3·5H2O、Er(NO3)3·6H2O、Fe(NO3)3·9H2O、C4H6MnO4·4H2O乙二醇甲醚和醋酸酐的混合液中,搅拌均匀,得到BEFMO前驱液;

步骤5,在晶态ZCO薄膜上旋涂BEFMO前驱液,得到BEFMO湿膜,湿膜经匀胶后在200~220℃烘烤得干膜,再于540~560℃下退火,得到晶态薄膜;

步骤6,待晶态BEFMO薄膜降温后,在BEFMO薄膜上重复步骤5,达到预设厚度,即得到BEFMO/ZCO复合薄膜。

5.根据权利要求4所述的具有电阻开关效应的BEFMO/ZCO复合异质结的制备方法,其特征在于,步骤1中ZCO前驱液中金属离子的总浓度为0.4~0.5mol/L。

6.根据权利要求4所述的具有电阻开关效应的BEFMO/ZCO复合异质结的制备方法,其特征在于,步骤4中BEFMO前驱液中金属离子的总浓度均为0.2~0.3mol/L。

7.根据权利要求4所述的具有电阻开关效应的BEFMO/ZCO复合异质结的制备方法,其特征在于,ZCO前驱液中乙二醇甲醚和乙醇胺的体积比为(32~33):1;BEFMO前驱液中乙二醇甲醚和醋酸酐的体积比均为(2.8~3.1):1。

8.根据权利要求4所述的具有电阻开关效应的BEFMO/ZCO复合异质结的制备方法,其特征在于,步骤2和步骤5中的匀胶转速为3600~3900r/min,匀胶时间为15~20s。

9.根据权利要求4所述的具有电阻开关效应的BEFMO/ZCO复合异质结的制备方法,其特征在于,步骤2与步骤5中匀胶后的烘烤时间分别为20~30min和6~8min。

10.根据权利要求4所述的具有电阻开关效应的BEFMO/ZCO复合异质结的制备方法,其特征在于,步骤2中的退火时间为40~60min,步骤5中的退火时间为8~10min。