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专利号: 2018109520476
申请人: 德淮半导体有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2025-11-18
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.一种图像传感器,其特征在于,包括:形成有光电二极管的半导体基板,所述半导体基板包含不同的像素区域,所述像素区域包括白色像素区域;

位于所述半导体基板上的绝缘结构;

贯穿所述绝缘结构,并且部分覆盖所述白色像素区域光电二极管的有机光电二极管;

位于所述绝缘结构上并且部分覆盖所述绝缘结构的遮光膜;

位于绝缘结构上对应不同像素的滤色层,所述滤色层包括白色滤色层,所述遮光膜隔离所述不同像素的滤色层;

位于滤色层上方的微透镜。

2.如权利要求1所述图像传感器,其特征在于,所述遮光膜为具有遮光效果的金属材料。

3.如权利要求1所述图像传感器,其特征在于,所述遮光膜材料为钨、铝或铜。

4.如权利要求1所述图像传感器,其特征在于,所述绝缘结构为一层以上介质层形成的堆栈结构。

5.如权利要求4所述图像传感器,其特征在于,所述的绝缘结构包含高介电常数材料层,抗反射层以及粘附介质层中的一种以上。

6.一种图像传感器的制作方法,其特征在于,包括:提供形成有光电二极管的半导体基板,所述半导体基板包含不同的像素区域,所述像素区域包括白色像素区域;

在所述半导体基板上形成绝缘结构;

形成贯穿所述绝缘结构,并且部分覆盖所述白色像素区域光电二极管的有机光电二极管;

在所述绝缘结构上形成部分覆盖所述绝缘结构的遮光膜;

在绝缘结构上形成对应不同像素的滤色层,所述滤色层包括白色滤色层,所述遮光膜隔离所述不同像素的滤色层;

在各像素区域对应位置的滤色层上方形成微透镜。

7.如权利要求6所述图像传感器的制作方法,其特征在于,所述遮光膜为具有遮光效果的金属材料。

8.如权利要求7所述图像传感器的制作方法,其特征在于,所述遮光膜材料为钨、铝或铜。

9.如权利要求6所述图像传感器的制作方法,其特征在于,所述绝缘结构为一层以上介质层形成的堆栈结构。

10.如权利要求9所述图像传感器的制作方法,其特征在于,所述的绝缘结构包含高介电常数材料层,抗反射层以及粘附介质层中的一种以上。