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专利号: 2018104366284
申请人: 桂林电子科技大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2025-10-14
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种基于MIM波导内嵌矩形腔等离子体滤波器,其特征是,由金属薄膜,以及呈镂空状开设在金属薄膜上的1条入射波导、1个矩形口径和1个矩形谐振腔组成。金属薄膜采用金属银薄膜材料制成。在本发明例中,金属薄膜整体为正方形大小设置为2000*2000nm。金属薄膜上通过镂空方式,形成入射波导、出射波导和谐振腔,从而使得入射波导、出射波导和谐振腔内填充的介质为空气。入射波导为长方形。在本发明实例中,入射波导与整体结构等宽。入射波导水平延伸设置在金属薄膜上。

2.根据权利要求1所述的一种基于MIM波导内嵌矩形腔等离子体滤波器,其特征是,金属银薄块为正方形且内嵌谐振腔为矩形。

3.根据权利要求1或2所述的一种基于MIM波导内嵌矩形腔等离子体滤波器,其特征是,矩形口径的对称中心与矩形谐振腔的对称中心相重合。

4.根据权利要求1所述的一种基于MIM波导内嵌矩形腔等离子体滤波器,其特征是,矩形口径的宽度可以设置为20nm~60nm。

5.根据权利要求1所述的一种基于MIM波导内嵌矩形腔等离子体滤波器,其特征是,矩形谐振器的长度设置为700nm~1100nm。

6.根据权利要求1所述的一种基于MIM波导内嵌矩形腔等离子体滤波器,其特征是,矩形谐振器的宽度设置为50nm~250nm。

7.根据权利要求1或5所述的一种基于MIM波导内嵌矩形腔等离子体滤波器,其特征是,当矩形谐振器的长度设置为1100nm时,改变h可以获得第二,第三个等多个透射峰。