1.一种内嵌扇形金属谐振腔MIM可调谐等离子体滤波器，其特征在于：所述滤波器由矩形金属薄膜(2)、入射波导(1-1)、圆形谐振腔(3)、对称扇形金属块(4-1、4-2)、出射波导(1-

2)组成。该结构金属薄膜(2)选用金属银材料。在本发明中，矩形金属薄膜(2)尺寸设计为

1400*800nm,矩形波导(1-1、1-2)宽度为50nm，对称扇形金属块(4-1、4-2)之间距离h为

70nm，圆形谐振腔(3)与矩形波导(1-1、1-2)之间耦合距离d为10nm。在金属薄膜上进行镂空操作，形成内部填充介质为空气的入射波导，内嵌对称扇形金属块的圆形谐振腔和出射波导结构。

2.根据权利要求1所述的一种内嵌扇形金属谐振腔MIM可调谐等离子体滤波器，其特征在于：金属薄膜(2)的厚度为250nm。

3.根据权利要求1所述的一种内嵌扇形金属谐振腔MIM可调谐等离子体滤波器，其特征在于：金属薄膜(2)的材料为金属银。

4.根据权利要求1所述的一种内嵌扇形金属谐振腔MIM可调谐等离子体滤波器，其特征在于：两个矩形波导(1-1、1-2)、圆形谐振腔(3)、内嵌两个对称扇形金属块(4-1、4-2)的对称中心与矩形金属薄膜(2)在Y方向上的对称轴上。

5.根据权利要求1所述的一种内嵌扇形金属谐振腔MIM可调谐等离子体滤波器，其特征在于：金属薄膜(2)内的两个矩形波导(1-1、1-2)宽度ω为50nm，圆形谐振腔(3)内的对称扇形金属块(4-1、4-2)之间的距离h为70nm，圆形谐振腔(3)半径为225nm，内嵌对称扇形金属块(4-1、4-2)的角度θ为90°且金属块半径r为140nm，圆形谐振腔(3)和波导(1-1、1-2)中填充介质折射率n为1，波导和圆形谐振腔之间的间距d范围为5nm～20nm。

6.根据权利要求1所述的一种内嵌扇形金属谐振腔MIM可调谐等离子体滤波器，其特征在于：金属薄膜(2)内的两个矩形波导(1-1、1-2)宽度ω为50nm，圆形谐振腔(3)内的对称扇形金属块(4-1、4-2)之间的距离h为70nm，圆形谐振腔(3)半径为225nm，波导和圆形谐振腔之间的间距d范围为10nm，圆形谐振腔(3)和波导(1-1、1-2)中填充介质折射率n为1，内嵌对称扇形金属块(4-1、4-2)半径r为140nm的条件下，角度θ范围为45°～135°。

7.根据权利要求1所述的一种内嵌扇形金属谐振腔MIM可调谐等离子体滤波器，其特征在于：金属薄膜(2)内的两个矩形波导(1-1、1-2)宽度ω为50nm，圆形谐振腔(3)内的对称扇形金属块(4-1、4-2)之间的距离h为70nm，波导(1-1、1-2)和圆形谐振腔(3)之间的间距d范围为10nm，内嵌对称扇形金属块(4-1、4-2)的角度θ范围为90°且金属块半径r为140nm，圆形谐振腔(3)和波导(1-1、1-2)中填充介质折射率n范围为1，圆形谐振腔(3)半径为205nm～

225nm。

8.根据权利要求1所述的一种内嵌扇形金属谐振腔MIM可调谐等离子体滤波器，其特征在于：金属薄膜(2)内的两个矩形波导(1-1、1-2)宽度ω为50nm，圆形谐振腔(3)内的对称扇形金属块(4-1、4-2)之间的距离h为70nm，波导和圆形谐振腔之间的间距d范围为10nm，内嵌对称扇形金属块(4-1、4-2)的角度θ范围为90°且金属块半径r为140nm，圆形谐振腔(3)半径为225nm，圆形谐振腔(3)中填充介质折射率n范围为1.00～1.20。

9.根据权利要求1所述的一种内嵌扇形金属谐振腔MIM可调谐等离子体滤波器，其特征在于：金属薄膜(2)内的两个矩形波导(1-1、1-2)宽度ω为50nm，圆形谐振腔(3)内的对称扇形金属块(4-1、4-2)之间的距离h为70nm，波导(1-1、1-2)和圆形谐振腔(3)之间的间距d范围为5nm，内嵌对称扇形金属块(4-1、4-2)的角度θ范围为75°且金属块半径r为140nm，圆形谐振腔(3)半径为225nm，圆形谐振腔(3)和波导(1-1、1-2)中填充介质折射率n为1.09，滤波器可以同时工作在850nm和1310nm通信窗口。