1.内嵌扇形金属谐振腔MIM可调谐等离子体滤波器,其特征在于:在结构方面,所述滤波器为在矩形金属银薄膜(2)上镂空入射波导(1‑1)、圆形谐振腔(3)、对称扇形金属块(4‑
1,4‑2)、出射波导(1‑2)结构,其中,圆形谐振腔(3)的中心在矩形波导(1‑1,1‑2)的中心连线上,内嵌对称扇形金属块(4‑1,4‑2)沿波导传输方向对称分布且其对称点与圆形谐振腔(3)中心重合;在滤波效果方面,通过调节波导结构参数以及内部填充介质的折射率,可以实现在500nm~1400nm范围内双通道可调谐滤波;此外,通过调节矩形波导(1‑1,1‑2)宽度ω为50nm,圆形谐振腔(3)内的对称扇形金属块(4‑1,4‑2)之间的距离h为70nm,矩形波导和圆形谐振腔间距d为5nm,内嵌对称扇形金属块(4‑1,4‑2)的圆心角θ为75°且金属块(4‑1,4‑
2)半径r为140nm,圆形谐振腔(3)半径为225nm,圆形谐振腔(3)和矩形波导(1‑1,1‑2)中填充介质折射率n为1.09,可以使得滤波器同时工作在850nm和1310nm两个通信窗口。
2.根据权利要求1所述的内嵌扇形金属谐振腔MIM可调谐等离子体滤波器,其特征在于:在另一参数设置中,金属银薄膜(2)内的两个矩形波导(1‑1,1‑2)宽度ω为50nm,圆形谐振腔(3)内的对称扇形金属块(4‑1,4‑2)之间的距离h为70nm,圆形谐振腔(3)半径为225nm,波导和圆形谐振腔之间的间距d为10nm,圆形谐振腔(3)和波导(1‑1,1‑2)中填充介质折射率n为1,内嵌对称扇形金属块(4‑1,4‑2)半径r为140nm的条件下,扇形金属块(4‑1,4‑2)的圆心角θ可调谐范围为45°~135°。