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专利号: 2017114939076
申请人: 乐清海创智能科技有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2025-12-01
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种稀磁半导体的制备方法,其特征在于:所述制备方法包括如下步骤:制备复合氧化铟靶材,所述复合氧化铟靶材的分子式为(In1-x-y-zFexCoyGdz)2O3,其中,x=0.02-0.04,y=0.01-0.02,z=0.01-0.02;

提供氧化铝基片,并对所述氧化铝基片进行清洗和抛光,得到第一氧化铝基片;

将所述第一氧化铝基片放入真空室进行预溅射,得到第二氧化铝基片;

利用脉冲激光沉积方法,在所述第二氧化铝基片上沉积氧化铜薄膜,得到第一复合氧化铝基片;

利用脉冲激光沉积方法,在所述第一复合氧化铝基片上沉积氧化亚铜薄膜,得到第二复合氧化铝基片;

利用脉冲激光沉积方法,在所述第二复合氧化铝基片上沉积铁钴钆掺杂的氧化铟薄膜。

2.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于:制备复合氧化铟靶材的具体工艺为:以In2O3、Fe2O3、Gd2O3以及CoO为原料,按照所述分子式对所述原料进行重量配比;

对配比之后的各原料进行研磨,并对研磨之后的原料进行真空预烧结,所述真空预烧结工艺为:烧结温度为800-900℃,烧结时间为5-10h;

对真空预烧结之后的粉末进行第二研磨;

对第二研磨之后的粉末进行真空烧结,所述真空烧结工艺为:烧结温度为1150-1200℃,烧结时间为13-15h。

3.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于:沉积氧化铜薄膜的具体工艺为:以氧化铜烧结靶为溅射靶材,所述第二氧化铝基片温度为300-400℃,激光能量为100-200mJ/脉冲,激光频率为10-20Hz。

4.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于:沉积氧化亚铜薄膜的具体工艺为:以氧化铜烧结靶为溅射靶材,所述第一复合氧化铝基片温度为400-500℃,激光能量为100-

200mJ/脉冲,激光频率为10-20Hz。

5.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于:沉积铁钴钆掺杂的氧化铟薄膜的具体工艺为:以所述复合氧化铟靶材为溅射靶材,所述第二复合氧化铝基片温度为600-650℃,激光能量为300-400mJ/脉冲,激光频率为15-25Hz。

6.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于:所述氧化铜薄膜厚度为15-20nm。

7.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于:所述氧化亚铜薄膜厚度为10-15nm。

8.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于:所述铁钴钆掺杂的氧化铟薄膜厚度为

25-35nm。

9.一种稀磁半导体,所述稀磁半导体由下到上依次包括:氧化铝基片、氧化铜层、氧化亚铜层以及铁钴钆掺杂的氧化铟层,其特征在于:所述稀磁半导体是由如权利要求1-8之一所述的制备方法制备的。