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专利号: 2017111190056
申请人: 电子科技大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2025-12-01
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种逆阻型氮化镓器件,包括衬底(1)、位于衬底上表面的GaN缓冲层(2)和位于GaN缓冲层(2)上表面的InAlN势垒层(3),所述GaN缓冲层(2)和InAlN势垒层(3)形成异质结;所述InAlN势垒层(3)两侧上表面具有与其形成肖特基接触的源极金属(4)和漏极金属(5);所述漏极金属(5)的功函数大于所述源极金属(4)的功函数;所述漏极金属(5)采用功函数大于5eV的金属或合金,源极金属(4)采用功函数小于5eV的金属或合金;在靠近源极(4)一侧有嵌入势垒层(3)的凹槽栅结构(8);所述凹槽栅结构(8)由栅介质(6)、栅极金属(7)构成。

2.根据权利要求1所述的逆阻型氮化镓器件,其特征在于,所述衬底(1)采用的材料是硅、蓝宝石、碳化硅或氮化镓中的一种。

3.根据权利要求2所述的逆阻型氮化镓器件,其特征在于,所述势垒层(3)为III族元素In、Al、N形成的三元化合物。

4.根据权利要求3所述的逆阻型氮化镓器件,其特征在于,所述绝缘栅介质(6)采用的材料为SiO2、Si3N4、AlN、Al2O3、MgO、Sc2O3或HfO2中的一种。