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专利号: 2015109633004
申请人: 东莞酷派软件技术有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2025-10-25
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种声表面波滤波器的加工方法,其特征在于,包括:提供基片,所述基片为具有压电效应的材料;

在所述基片上加工形成发射叉指型电极及接收叉指型电极;

在所述基片的表面加工形成基体,所述基体处于所述发射叉指型电极及所述接收叉指型电极之间;

对所述基体进行预定义加工,形成通孔;

在所述通孔中形成散射体,得到声表面波滤波器,所述基体的声阻抗大于所述散射体的声阻抗。

2.根据权利要求1所述的加工方法,其特征在于,所述在所述基片上加工形成发射叉指型电极及接收叉指型电极包括:在所述基片表面形成金属薄层;

通过光蚀刻工艺对所述金属薄层进行加工,形成发射叉指型电极及接收叉指型电极。

3.根据权要求2所述的加工方法,其特征在于,所述通过光蚀刻工艺对所述金属薄层进行加工,形成发射叉指型电极及接收叉指型电极之后,还包括:在所述基片的边界表面加工形成吸收层。

4.根据权利要求1所述的加工方法,其特征在于,所述在所述基片的表面加工形成基体包括:通过电镀工艺在所述基片表面形成基体。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的加工方法,其特征在于,所述加工方法还包括:在所述基体上制作输入电极和输出电极,所述输入电极与所述发射叉指型电极连接,所述输出电极与所述接收叉指型电极连接。

6.一种声表面波滤波器,其特征在于,包括:基片、发射叉指型电极、接收叉指型电极、基体及散射体,所述基体的声阻抗大于所述散射体的声阻抗;

所述发射叉指型电极和所述接收叉指型电极处于所述基片上;

所述基体处于所述基片表面,且处于所述发射叉指型电极和所述接收叉指型电极之间;

所述散射体具有通孔,所述散射体处于所述通孔中。

7.根据权利要求6所述的声表面波滤波器,其特征在于,所述基片为具有压电效应的材料。

8.根据权利要求6或7所述的声表面波滤波器,其特征在于,所述声表面波滤波器还包括:输入电极和输出电极;

所述输入电极与所述发射叉指型电极连接,所述输出电极与所述接收叉指型电极连接。

9.根据权利要求6或7所述的声表面波滤波器,其特征在于,所述声表面波滤波器还包括:吸收层,所述吸收层处于所述基片的边界表面上。