利索能及
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专利号: 2015108433744
申请人: 岭南师范学院
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2025-10-14
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种耐高温多层太阳能选择性吸收涂层,其特征在于,该吸收涂层由三层结构组成,顶层为Cr2O3减反层,中间层为氧含量渐变结构的CrAlON吸收层,底层为CrAlSiN红外反射层;其中,吸收层CrAlON成分如下:Cr: 30~36 at.%,Al: 14~20 at.%,O: 12~28at.%,N:

22~38 at.%,氧含量由内到外逐渐增多;红外反射层CrAlSiN成分如下:Cr: 13~21 at.%,Al: 30~40 at.%,Si: 6~10at.%,N: 32~40 at.%。

2.根据权利要求1所述的耐高温多层太阳能选择性吸收涂层,其特征在于,Cr2O3减反层的厚度为20~80 nm,CrAlON吸收层的厚度为30~120 nm,CrAlSiN红外反射层的厚度为

30~100 nm。

3.权利要求1或2所述的耐高温多层太阳能选择性吸收涂层的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:S1. 控制基体温度在300~400℃,关闭Ar气,打开N2气,控制气压在0.8~1.2 Pa,降低负偏电压至100~150 V,开启CrAlSi合金电弧靶,调节靶材电流为60~120 A,制备CrAlSiN红外反射层;

S2. 保持通入N2气,同时打开O2气,调节气压至0.5~1.5 Pa,开启CrAl阴极电弧靶,控制电流在60~100 A,在沉积过程中将O2气占总通入气体比例逐渐从3%升高到40%,沉积CrAlON吸收层;

S3. 关闭N2,保持通入O2气,同时通入Ar气,并控制气压在0.4~1.5 Pa,O2比例在

50%-80%,打开Cr金属靶,调节弧源电流50~150 A,沉积Cr2O3减反层,即得所述选择性吸收涂层。

4.根据权利要求3所述的制备方法,其特征在于,步骤S1制备CrAlSiN红外反射层的生长时间为2~15 min,步骤S2沉积CrAlON吸收层的时间为3~10 min,步骤S3沉积Cr2O3减反层的时间为2~12 min。

5.根据权利要求3所述的制备方法,其特征在于,在步骤S1之前通Ar气,对基体进行辉光清洗,具体为:将不锈钢基体在转速3~8 rpm的条件升温至250~500℃,抽本底真空达-3到2.0~8.0×10 Pa;通Ar气,调节真空度至0.2~0.8 Pa,加负偏电压-800~ -1200 V,进行辉光清洗10~25 min。