1.一种耐候性高效太阳能选择性吸收涂层,其特征在于,该涂层体系具有四层结构:
由内到外依次为TiCrMoN/CrMoON/CrON/SiON,其中,红外反射层TiCrMoN涂层成分如下:Ti: 28~32 at.%,Cr: 18~24 at.%,Mo: 4~10 at.%,N: 43~47 at.%;吸收层CrMoON成分如下:Cr: 35~43 at.%,Mo: 9~16 at.%,O: 6~12 at.%,N: 35~40 at.%;减反层CrON成分如下:Cr: 42~52 at.%,O: 7~12 at.%,N: 39~48 at.%;减反层SiON成分如下:Si: 36~42 at.%,O: 12~20 at.%,N: 40~49 at.%。
2.根据权利要求1所述的耐候性高效太阳能选择性吸收涂层,其特征在于,TiCrMoN红外反射层的厚度为30~100 nm,CrMoON吸收层的厚度为40~120 nm,CrON减反层的厚度为
10~30 nm,SiON减反层的厚度为15~30 nm。
3.权利要求1或2所述的耐候性高效太阳能选择性吸收涂层的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:S1. 控制基体负偏电压至80-150 V,关闭Ar气,打开N2气,调节气压在0.7~1.5 Pa,开启纯TiCr阴极电弧合金靶以及中频磁控溅射Mo金属靶,调节TiCr合金靶材电流为60~120 A,中频磁控溅射Mo金属靶5~15 A,沉积TiCrMoN红外反射层;
S2. 保持通入N2气,同时打开O2气,调节气压至0.5~1.5 Pa,O2含量在5%~28%,温度调节至200~400℃条件下,开启Cr阴极电弧靶和Mo中频磁控溅射靶,保持Cr靶电流在45~65 A,Mo靶电流在6~10 A,沉积CrMoON吸收层;
S3. 关闭Mo中频磁控溅射靶,保持通入O2和N2气,并控制气压在0.7-1.3 Pa,O2比例在5%~16%,调节Cr靶电流在40~80 A,沉积CrON减反层;
S4. 关闭Cr阴极电弧靶,保持通入O2和N2气,并控制气压在0.6~1.5 Pa,O2比例在
5%~20%,开启Si中频磁控溅射靶,调节靶电流在5~12A,沉积SiON减反层,即得所述选择性吸收涂层。
4.根据权利要求3所述的制备方法,其特征在于,在步骤S1之前通Ar气,对基体进行辉光清洗,具体为:将基体在转速3~8 rpm的条件升温至300~500℃,抽本底真空达到-3
1.0~5.0×10 Pa;通Ar气,调节真空度至0.1~0.8 Pa,加负偏电压-700~-1500 V,进行辉光溅射清洗10~40 min。
5.根据权利要求3所述的制备方法,其特征在于,步骤S1沉积TiCrMoN红外反射层的时间为2~10 min,步骤S2沉积CrMoON吸收层的时间为2~12 min,步骤S3沉积CrON减反层的时间为2~10min,步骤S4沉积SiON减反层的时间为3~20min。