1.一种乌洛托品季铵盐缓蚀剂的制备方法,其特征在于,所述乌洛托品季铵盐缓蚀剂的结构式为式中,R为乙基、丙基、正丁基、正戊基、正己基、正庚基或正辛基,X为Br或I,其制备方法包括以下步骤:
1)将乌洛托品溶于有机溶剂中,然后加入卤代烷烃,混合均匀得反应体系,其中乌洛托品与卤代烷烃的摩尔比为1:(1.5~2.5);
2)在35~72℃和隔绝空气的条件下,对反应体系进行搅拌、回流反应,回流反应6~10h后,停止加热和搅拌,趁热过滤,得到白色粉末;
3)将所得白色粉末加入三氯甲烷中,在50~60℃下搅拌1~2h,并趁热过滤,置于烘箱中在60~70℃下干燥18~24h,得所述的乌洛托品季铵盐缓蚀剂;
所述有机溶剂为三氯甲烷或甲醇。
2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述卤代烷烃的通式为X-R,其中,X为Br或I;R为乙基、丙基、正丁基、正戊基、正己基、正庚基或正辛基。
3.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述乌洛托品与有机溶剂的固液比为
1:(10~15)g/ml。
4.权利要求1~3任一项所述制备方法制得的乌洛托品季铵盐缓蚀剂。
5.权利要求4所述乌洛托品季铵盐缓蚀剂作为缓蚀剂的应用。