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专利号: 2014106968213
申请人: 广东工业大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2025-12-30
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.异构电机共定子多驱动宏微一体化高速精密运动二维平台,其特征在于:包括X向基座、Y向基座和一体化平台;

所述一体化平台包括宏动外框架和微动平台,所述微动平台包括X向微平台、X向弹片组、Y向微平台、Y向弹片组和Y向微驱动,具有弹性的所述X向弹片组设置于所述X向微平台的两侧,其一端连接于所述宏动外框架的内侧壁,另一端连接于所述X向微平台;具有弹性的所述Y向弹片组设置于所述Y向微平台的两侧,其一端连接于所述X向微平台的内侧壁,另一端连接于所述Y向微平台;所述X向弹片组和Y向弹片组相互垂直,用于放置工件的工作平台刚性连接于所述Y向微平台;

所述X向基座设置有X向导轨、X向滑块和X向U型直线电机,所述X向滑块可滑动于所述X向导轨,所述X向U型直线电机包括X向定子、宏动外框架动子、X向微动平台动子和连接件,X向运动和X向微运动共用同一个所述X向定子;

所述宏动外框架固定安装于所述X向滑块,并通过所述连接件连接于所述宏动外框架动子,由所述宏动外框架动子、所述X向微动平台动子和所述X向定子控制其滑动于所述X向导轨实现X向宏运动;

所述Y向微驱动包括Y向微音圈电机和Y向微连接板,所述Y向微音圈电机固定于所述Y向微连接板,所述Y向微连接板固定于所述X向微平台的底部,所述Y向微平台由所述Y向微音圈电机控制其在Y向的微运动;

所述Y向微连接板的底部通过连接件于所述X向微动平台动子,并由所述X向微动平台动子控制其在所述X向定子在X向的微运动;

所述Y向基座设置有Y向导轨、Y向滑块和Y向平板直线电机,所述Y向导轨设置在所述Y向基座表面上的两侧,所述Y向滑块可滑动于所述Y向导轨,所述Y向平板直线电机安装于任一侧的所述Y向导轨上,所述X向基座在X方向上的两侧通过固定于所述Y向滑块,并通过宏动连接件连接于所述Y向平板直线电机的动子,并由所述Y向平板直线电机控制其滑动于所述Y向导轨实现Y向宏运动。

2.根据权利要求1所述的异构电机共定子多驱动宏微一体化高速精密运动二维平台,其特征在于:所述宏动外框架动子设置有两个,分别设置在所述宏动外框架的进给方向的两端。

3.根据权利要求1所述的异构电机共定子多驱动宏微一体化高速精密运动二维平台,其特征在于:所述X向微平台、所述X向弹片组、所述Y向微平台、所述Y向弹片组、所述工作平台和所述宏动外框架为一体式结构。

4.根据权利要求1所述的异构电机共定子多驱动宏微一体化高速精密运动二维平台,其特征在于:所述的X向弹片组和Y向弹片组中各自的弹片均为平行布置,且弹片的长度方向分别垂直于X向微平台和Y向微平台的进给方向。

5.根据权利要求1所述的异构电机共定子多驱动宏微一体化高速精密运动二维平台,其特征在于:所述宏动外框架在其与所述X向弹片组的相连接处设置有X向槽,使所述宏动外框架的内侧形成较薄的可变形的X向微平台弹性件。

6.根据权利要求5所述的异构电机共定子多驱动宏微一体化高速精密运动二维平台,其特征在于:所述宏动外框架31设有调节X向微平台弹性件变形度的X向频率调节机构。

7.根据权利要求6所述的异构电机共定子多驱动宏微一体化高速精密运动二维平台,其特征在于:所述X向频率调节机构为穿过所述X向槽的螺栓,其两端分别连接于所述X向槽的两侧。

8.根据权利要求1所述的异构电机共定子多驱动宏微一体化高速精密运动二维平台,其特征在于:所述Y向微平台在其内侧转角处设置有圆弧形内嵌式孔槽。

9.根据权利要求1所述的异构电机共定子多驱动宏微一体化高速精密运动二维平台,其特征在于:在所述X向微平台和所述Y向微平台的进给方向的端部分别设置有X向位移传感器和Y向位移传感器。

10.根据权利要求1所述的异构电机共定子多驱动宏微一体化高速精密运动二维平台,其特征在于:所述X向位移传感器或所述Y向位移传感器为差动电容传感器或光电传感器。