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专利号: 2014106962170
申请人: 广东工业大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2025-12-30
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.直线电机共定子双驱动宏微一体化高速精密运动一维平台,其特征在于:包括基座、宏动外框架和微动平台;

所述宏动外框架与所述微动平台形成一体化平台,所述微动平台设置在所述宏动外框架的框架内部,所述微动平台包括用于放置工件的核心平台和用于限位的弹片组,所述核心平台通过所述弹片组连接于所述宏动外框架;

所述基座上设置有导轨、滑块和U型直线电机,所述滑块可滑动于所述导轨,所述U型直线电机包括定子、宏动外框架动子、微动平台动子和连接件,宏运动和微运动共用同一个所述定子;

所述宏动外框架固定安装于所述滑块,并通过所述连接件连接于所述宏动外框架动子,由所述宏动外框架动子、所述微动平台动子和所述定子控制其滑动于所述导轨实现宏运动;

所述核心平台通过所述连接件固定于所述微动平台动子,并由所述微动平台动子控制其在所述定子的微运动;

所述宏动外框架动子设置有两个,分别设置在所述宏动外框架的进给方向的两端。

2.根据权利要求1所述的直线电机共定子双驱动宏微一体化高速精密运动一维平台,其特征在于:所述弹片组、所述核心平台和所述宏动外框架为一体式结构。

3.根据权利要求1所述的直线电机共定子双驱动宏微一体化高速精密运动一维平台,其特征在于:所述核心平台的两侧通过所述弹片组与所述宏动外框架内壁连接,所述弹片组为平行布置,且所述弹片组的弹片的长度方向垂直于所述核心平台的运动方向。

4.根据权利要求3所述的直线电机共定子双驱动宏微一体化高速精密运动一维平台,其特征在于:所述宏动外框架与所述弹片组连接处设有槽,使所述宏动外框架内侧形成较薄的可变形的弹性件,所述宏动外框架设有调节所述弹性件变形度的频率调节机构。

5.根据权利要求4所述的直线电机共定子双驱动宏微一体化高速精密运动一维平台,其特征在于:所述频率调节机构为穿过所述槽的螺栓,其两端分别连接于所述槽的两侧。

6.根据权利要求5所述的直线电机共定子双驱动宏微一体化高速精密运动一维平台,其特征在于:所述频率调节机构还包括压电陶瓷片,所述压电陶瓷片通过所述螺栓安装于所述槽的外侧。

7.根据权利要求1所述的直线电机共定子双驱动宏微一体化高速精密运动一维平台,其特征在于:所述微动平台还包括位移传感器,设于所述核心平台的进给方向的端部。

8.根据权利要求7所述的直线电机共定子双驱动宏微一体化高速精密运动一维平台,其特征在于:所述位移传感器为差动电容传感器或光电传感器。

9.根据权利要求7所述的直线电机共定子双驱动宏微一体化高速精密运动一维平台,其特征在于:所述位移传感器的非工作面设置有绝缘层。