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专利号: 2013106326429
申请人: 浙江工业大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2024-11-12
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种纳米颗粒增强的铜基复合材料的制备方法,包括如下步骤:(1)将铜锭料与钼源、碳源中的一种或两种分别放于坩埚内,并在铜锭料上面放隔离层原料;

(2)抽真空,加热基板;

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(3)当真空度达到9×10 Pa以下、基板温度达到500-800℃,打开基板旋转装置,使基板旋转,沉积隔离层;

(4)打开挡板,开始沉积材料;

(5)沉积完成,待基板冷却后,取下基板,分离获得沉积层材料,即为纳米颗粒增强的铜基复合材料,所述的铜基复合材料中,铜基体晶粒尺寸小于20μm,纳米颗粒增强相为碳化钼、或碳化钼与钼、或碳化钼与碳,纳米颗粒增强相的颗粒尺寸在200nm以下;所述铜基复合材料中,Mo的质量百分含量为0.1-15%,C的质量百分含量为在1%以下。

2.根据权利要求1所述的纳米颗粒增强的铜基复合材料的制备方法,其特征在于:碳源是碳靶,或碳粉,或蒽粉。

3.根据权利要求2所述的纳米颗粒增强的铜基复合材料的制备方法,其特征在于:隔离层原料选自CaF2或ZrO2。

4.根据权利要求1所述的纳米颗粒增强的铜基复合材料的制备方法,其特征在于:沉积过程中,基板转速控制在3-20rev/min。

5.根据权利要求1所述的纳米颗粒增强的铜基复合材料的制备方法,其特征在于所述的铜基复合材料的性能指标如下:屈服强度Rp0.2≥420MPa,抗拉强度Rm≥480MPa,电导率≥70%ICAS。