1.砷化镓量子环红外光电探测器,包括衬底层(1)、生长在衬底层(1)上的砷化镓缓冲层(2),其特征在于,还包括在砷化镓缓冲层(2)上依次生长的砷化镓接触层(3)、砷化镓铝底部间隔层(4)、量子环结构层(5);所述量子环结构层(5)至少有2层,层叠在一起;还包括砷化镓覆盖层(6)、第一电极(7)和第二电极(8),其中,所述砷化镓覆盖层(6)形成在所述量子环结构层(5)上,所述第一电极(7)形成在砷化镓覆盖层(6)上,所述第二电极(7)形成在所述砷化镓接触层(3)上。
2.根据权利要求1所述的砷化镓量子环红外光电探测器,其特征在于,所述量子环结构层(5)包括量子环层(51)、第一砷化镓铝间隔层(52)和第二砷化镓铝间隔层(53),所述第一砷化镓铝间隔层(52)形成在所述量子环层(51)上,所述第二砷化镓铝间隔层(53)形成在第一砷化镓铝间隔层(52)上。
3.根据权利要求1或2所述的砷化镓量子环红外光电探测器,其特征在于,所述衬底层(1)为半绝缘型砷化镓单晶片或者n型砷化镓单晶片;所述砷化镓缓冲层(2)为本征砷化镓层或者n型砷化镓层;所述砷化镓接触层(3)为n型砷化镓层;所述砷化镓铝底部间隔层(4)为本征砷化镓铝层。
4.根据权利要求2所述的砷化镓量子环红外光电探测器,其特征在于,所述量子环层(51)包括被晶化的硅掺杂的纳米金属镓液滴。
5.砷化镓量子环红外光电探测器的制造方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤11、提供衬底层(1);
步骤12、在衬底层上(1)上形成砷化镓缓冲层(2);
步骤13、在砷化镓缓冲层(2)上形成砷化镓接触层(3);
步骤14、在砷化镓接触层(3)上形成砷化镓铝底部间隔层(4);
步骤15、在砷化镓铝底部间隔层(4)上形成至少两层层叠在一起的量子环结构层(5);
步骤16、在量子环结构层(5)上形成砷化镓覆盖层(6);
步骤17、在砷化镓覆盖层(6)上形成第一电极(7);
步骤18、刻蚀前面形成的各层直至露出砷化镓接触层(3),在露出的砷化镓接触层(3)上形成第二电极(8);
步骤15中在砷化镓铝底部间隔层(4)上形成至少两层层叠在一起的量子环结构层(5),具体包括:步骤151、形成量子环层(51);
步骤152、200℃-450℃温度条件下,在量子环层(51)上形成第一砷化镓铝间隔层(52);
步骤153、580℃-630℃温度条件下,在第一砷化镓铝间隔层(52)上形成第二砷化镓铝间隔层(53);
步骤154、根据量子环结构层(5)的层数重复步骤151至步骤153。
6.根据权利要求5所述的砷化镓量子环红外光电探测器的制造方法,其特征在于,步骤151中形成量子环层(51),具体是:形成硅掺杂的纳米金属镓液滴并晶化该纳米金属镓液滴。