1.一种镀膜板的制备方法,采用真空蒸镀工艺在基板上形成膜,其特征在于,在真空蒸镀的条件下,将Cr颗粒加热熔融的同时并充入氧气后,蒸发到所述基板上形成Cr2O3膜,所述将Cr颗粒加热熔融的方式为电阻加热,包括先在电流为120mA-150mA下加热12-18秒,对所述Cr颗粒进行预熔的同时并充入氧气,然后再在大于预熔所需的电流至210mA的电流-4 -4下加热6-12秒,基于每平方厘米的基板,所使用的Cr颗粒的量为1.731e -2.307e 克。
2.如权利要求1所述镀膜板的制备方法,其特征在于,在对Cr颗粒进行预熔的同时并充入氧气前,使用离子源清洗3-5分钟。
3.如权利要求1所述镀膜板的制备方法,其特征在于,所述充入氧气的流量为
15-20SCCM。
4.如权利要求1所述镀膜板的制备方法,其特征在于,所述真空蒸镀的真空压强为-2 -2
1.5×10 -2.0×10 Pa。
5.如权利要求1所述镀膜板的制备方法,其特征在于,所述Cr2O3膜的蒸镀厚度为
22nm-26nm。
6.如权利要求1所述镀膜板的制备方法,其特征在于,所述Cr2O3膜的光透过率为
60-65%。