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专利号: 2009101053931
申请人: 比亚迪股份有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2024-12-09
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种镀膜板的制备方法,采用真空蒸镀工艺在基板上形成膜,其特征在于,在真空蒸镀的条件下,将Cr颗粒加热熔融的同时并充入氧气后,蒸发到所述基板上形成Cr2O3膜,所述将Cr颗粒加热熔融的方式为电阻加热,包括先在电流为120mA-150mA下加热12-18秒,对所述Cr颗粒进行预熔的同时并充入氧气,然后再在大于预熔所需的电流至210mA的电流-4 -4下加热6-12秒,基于每平方厘米的基板,所使用的Cr颗粒的量为1.731e -2.307e 克。

2.如权利要求1所述镀膜板的制备方法,其特征在于,在对Cr颗粒进行预熔的同时并充入氧气前,使用离子源清洗3-5分钟。

3.如权利要求1所述镀膜板的制备方法,其特征在于,所述充入氧气的流量为

15-20SCCM。

4.如权利要求1所述镀膜板的制备方法,其特征在于,所述真空蒸镀的真空压强为-2 -2

1.5×10 -2.0×10 Pa。

5.如权利要求1所述镀膜板的制备方法,其特征在于,所述Cr2O3膜的蒸镀厚度为

22nm-26nm。

6.如权利要求1所述镀膜板的制备方法,其特征在于,所述Cr2O3膜的光透过率为

60-65%。