1.一种圆管内壁镀膜装置，其特征在于，包括微波固态源(1)、同轴连接器(2)和微波等离子体主体(3)，所述微波固态源(1)通过所述同轴连接器(2)与所述微波等离子体主体(3)连接；

所述微波等离子体主体(3)包括金属外腔(32)、固定设置在所述金属外腔(32)内一端的谐振柱(35)、活动设置在所述金属外腔(32)内另一端的介质喷嘴(36)、将所述介质喷嘴(36)锁紧在所述金属外腔(32)上的金属盖板(33)、连接在所述介质喷嘴(36)上的喷嘴前端(37)、以及设置在所述金属外腔(32)内的微波耦合杆(31)；所述介质喷嘴(36)部分套设在所述谐振柱(35)上，所述同轴连接器(2)穿过所述金属外腔(32)并通过所述微波耦合杆(31)连接到所述谐振柱(35)上，所述喷嘴前端(37)部分延伸出所述金属盖板(33)；

喷嘴前端(37)为细长管，远离介质喷嘴(36)一端的喷嘴前端(37)的末端设置有封堵组件，远离介质喷嘴(36)一端的喷嘴前端(37)的末端侧壁上均布有若干小孔。

2.根据权利要求1所述的一种圆管内壁镀膜装置，其特征在于，所述金属外腔(32)为上端封口下端开口的圆筒体，所述谐振柱(35)设置在所述金属外腔(32)的内部轴线上，所述谐振柱(35)上端与金属外腔(32)内部固定连接，所述谐振柱(35)下端开路悬空，所述金属外腔(32)与所述谐振柱(35)共同组成谐振腔，所述谐振腔的谐振频率在2.4GHz‑2.5GHz，且最大电场聚焦在所述谐振柱(35)的开路端。

3.根据权利要求2所述的一种圆管内壁镀膜装置，其特征在于，所述谐振柱(35)的材质为耐高温金属材质，耐高温金属材质为金属钨、合金钨、钛合金或可伐合金中的一种。

4.根据权利要求2所述的一种圆管内壁镀膜装置，其特征在于，所述介质喷嘴(36)包括套设在所述谐振柱(35)的开路端的喷嘴罩，套设在所述谐振柱(35)的开路端的所述喷嘴罩的内直径大于所述谐振柱(35)的外直径，套设在所述谐振柱(35)的开路端的所述喷嘴罩的外直径小于所述金属外腔(32)内直径；

远离所述谐振柱(35)一端的喷嘴罩上设置有直径逐渐缩小的锥形收口，所述锥形收口与所述喷嘴前端(37)连接。

5.根据权利要求4所述的一种圆管内壁镀膜装置，其特征在于，所述介质喷嘴(36)外壁上设置有法兰盘，通过所述金属盖板(33)压接所述法兰盘，将所述介质喷嘴(36)固定在所述金属外腔(32)下端。

6.根据权利要求4所述的一种圆管内壁镀膜装置，其特征在于，所述介质喷嘴(36)的材质为石英或陶瓷。

7.根据权利要求1所述的一种圆管内壁镀膜装置，其特征在于，所述金属外腔(32)下端至少设置有两个对称的工艺气孔(34)，各所述工艺气孔(34)与对应的熟料管连通，所述工艺气孔(34)为径向孔，所述工艺气孔(34)位于所述介质喷嘴(36)对应的所述金属外腔(32)上。

8.根据权利要求1所述的一种圆管内壁镀膜装置，其特征在于，所述微波固态源(1)的频率为2.4GHz～2.5GHz，且频率可调，频率的可调步进为0.1MHz。

9.根据权利要求1所述的一种圆管内壁镀膜装置，其特征在于，所述微波固态源(1)的功率为0～500W可调，所述微波固态源(1)支持连续波和脉冲模式，脉冲频率最高可调到

500KHz。

10.根据权利要求1所述的一种圆管内壁镀膜装置，其特征在于，所述微波固态源(1)的输出口为N型同轴接口，并通过所述同轴连接器(2)与所述微波等离子体主体(3)连接。