1.一种圆管外壁镀膜装置,其特征在于:包括控制箱(1)和设于该控制箱(1)上的升降单元(2)、雾化单元(3)和反应单元(4),圆管衬底(25)可转动地设于所述升降单元(2)上;
所述反应单元(4)包括置于所述控制箱(1)上的金属均热板(41),该金属均热板(41)通过均匀分布在其上的碘钨灯(47)进行加热,所述金属均热板(41)上设石英腔体(42),所述圆管衬底(25)位于该石英腔体(42)内,所述石英腔体(42)内设有热电偶,该热电偶通过导线与所述控制箱(1)电连接,溶液在所述雾化单元(3)内雾化后进入所述石英腔体(42),实现在所述圆管衬底(25)上进行镀膜;
在所述石英腔体(42)上设腔体盖板(43),在所述石英腔体(42)内设蓝宝石均热板(44),所述圆管衬底(25)位于该蓝宝石均热板(44)和腔体盖板(43)之间;
所述雾化单元(3)包括设于所述控制箱(1)上的支架(31),该支架(31)上设有至少两个雾化罐(32),两个雾化罐(32)分别与混合罐(35)连通,该混合罐(35)与缓冲罐(37)连通,该缓冲罐(37)与所述石英腔体(42)连通,每个所述雾化罐(32)上均设有进液管(33)、出液管(34)和进气管(36),所述混合罐(35)的底部设排液口(351)。
2.根据权利要求1所述的一种圆管外壁镀膜装置,其特征在于:在所述金属均热板(41)上设隔热罩(45)。
3.根据权利要求1所述的一种圆管外壁镀膜装置,其特征在于:所述升降单元(2)包括设于所述控制箱(1)上的垂直升降台(21),该垂直升降台(21)上连接十字梁(22),该十字梁(22)的两端分别连接有一个转轴机构,两个转轴机构沿水平方向相对设置且同轴,所述转轴机构由电机(24)驱动,所述圆管衬底(25)的两端分别与对应端的所述转轴机构连接。
4.根据权利要求3所述的一种圆管外壁镀膜装置,其特征在于:所述十字梁(22)的一端与所述垂直升降台(21)连接,另一端沿竖直方向滑动设于限位槽(23)内。
5.根据权利要求4所述的一种圆管外壁镀膜装置,其特征在于:所述转轴机构包括转动连接在所述十字梁(22)端部的转轴(26),该转轴(26)上通过弹簧(27)连接有转销(28),该转销(28)与所述转轴(26)同轴设置,所述圆管衬底(25)的两端连接在对应端的所述转销(28)上。
6.根据权利要求5所述的一种圆管外壁镀膜装置,其特征在于:在所述支架(31)上设散热风扇。
7.根据权利要求6所述的一种圆管外壁镀膜装置,其特征在于:所述控制箱(1)包括箱体(11),该箱体(11)上设支耳(12)和排气管(13),所述缓冲罐(37)支撑于该支耳(12)上,所述排气管(13)的一端与所述石英腔体(42)连通,其另一端伸出所述箱体(11);
在所述箱体(11)上铰接有箱体罩盖(16),镀膜过程中所述升降单元(2)和反应单元(4)位于该箱体罩盖(16)内。
8.根据权利要求7所述的一种圆管外壁镀膜装置,其特征在于:所述箱体(11)的前面板上设有各单元开关按钮、温控触摸屏及载气表头,所述箱体(11)的侧面分布有散热孔(15)。