1.一种PVD镀膜设备腔体真空度检测装置，包括机体(1)和检测箱(2)，所述检测箱(2)安装在机体(1)的上端；

其特征在于：还包括：

进气管(5)，其安装在检测箱(2)的外部一侧，且进气管(5)与检测箱(2)内部连通，所述检测箱(2)的另一侧外部设置有排气管(4)，且排气管(4)与检测箱(2)内部连通，所述进气管(5)远离检测箱(2)的一端连接有过滤箱(7)，且进气管(5)与过滤箱(7)内部连通，所述过滤箱(7)的内部一体成型设置有内槽(13)，且内槽(13)的上端为开放式设置，所述过滤箱(7)的另一端连接有连接管(6)，且连接管(6)与过滤箱(7)内部连通，所述内槽(13)的内部安装有滤芯(11)，且滤芯(11)安装在内槽(13)内部靠近进气管(5)的一端，所述过滤箱(7)的上端表面安装有盖板(12)，且盖板(12)通过连接轴进行开合活动。

2.根据权利要求1所述的一种PVD镀膜设备腔体真空度检测装置，其特征在于：所述内槽(13)靠近进气管(5)的一侧设置有限位卡块(14)，所述限位卡块(14)的内侧一体成型设置有卡合槽(19)，且卡合槽(19)的上端为开放式设置，所述滤芯(11)靠近进气管(5)的一端安装有连接环(15)，连接环(15)活动卡合在卡合槽(19)的内部，其滤芯(11)通过连接环(15)安装在过滤箱(7)的内部。

3.根据权利要求1所述的一种PVD镀膜设备腔体真空度检测装置，其特征在于：所述盖板(12)的一侧设置有第二连接件(17)，且第二连接件(17)的表面设置有圆孔，所述过滤箱(7)的一侧设置有第一连接件(16)，盖板(12)闭合时第一连接件(16)与第二连接件(17)贴合，且第一连接件(16)的表面设置有圆孔，所述第一连接件(16)与第二连接件(17)之间通过连接螺栓(18)进行连接固定。

4.根据权利要求1所述的一种PVD镀膜设备腔体真空度检测装置，其特征在于：所述排气管(4)的另一端安装有单向板(8)，所述单向板(8)的上端设置有连接块(10)，所述排气管(4)的另一端上方设置有连接座(9)，且连接座(9)与连接块(10)之间通过转轴进行连接，且连接座(9)与连接块(10)之间的连接处设置有复位弹簧。

5.根据权利要求1所述的一种PVD镀膜设备腔体真空度检测装置，其特征在于：所述机体(1)的底部安装有减震垫(3)。