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专利号: 202223575551X
申请人: 徐州睿创智能科技有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2026-06-16
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种PVD真空镀膜机,包括真空镀膜机主体(10)和翻转机构(20),其特征在于:

其中,所述真空镀膜机主体(10)包括真空组件(11)和镀膜组件(12),所述真空组件(11)安装在所述真空镀膜机主体(10)的顶部,所述镀膜组件(12)安装在所述真空镀膜机主体(10)的内部;

其中,所述翻转机构(20)包括两个支撑板(21),两个所述支撑板(21)对称设置在所述真空镀膜机主体(10)的内部,所述支撑板(21)的外部安装有气缸(22),所述气缸(22)的活塞杆固定连接有推板(23),所述推板(23)的一侧固定连接有L形板(24),所述L形板(24)的外部滑动连接在所述支撑板(21)的内部,所述L形板(24)的底部固定连接有齿条(25),所述齿条(25)的底部啮合连接有齿轮(28),所述齿轮(28)通过传动组件(26)转动连接有U形夹板(29)。

2.根据权利要求1所述的一种PVD真空镀膜机,其特征在于:所述支撑板(21)的内部固定连接有限位板(27),所述齿条(25)的一侧滑动连接在所述限位板(27)的外部。

3.根据权利要求1所述的一种PVD真空镀膜机,其特征在于:所述真空组件(11)包括真空泵(1101),所述真空泵(1101)安装在所述真空镀膜机主体(10)的顶部,所述真空泵(1101)的进气口连通有进气管(1102),所述真空泵(1101)的出气口连通有排气管(1103)。

4.根据权利要求1所述的一种PVD真空镀膜机,其特征在于:所述镀膜组件(12)包括调节电压箱(1201),所述调节电压箱(1201)的内部安装有电压发射器(1202),所述调节电压箱(1201)的顶部安装有集液箱(1203),所述集液箱(1203)的内部连通有喷淋管(1204)。

5.根据权利要求1所述的一种PVD真空镀膜机,其特征在于:所述传动组件(26)包括两个传动轮(2602),一个所述传动轮(2602)安装在所述齿轮(28)上,另一个所述传动轮(2602)安装在所述U形夹板(29)上,两个所述传动轮(2602)通过皮带(2601)转动连接。

6.根据权利要求4所述的一种PVD真空镀膜机,其特征在于:所述喷淋管(1204)的出水口位于两个所述支撑板(21)的中部。

7.根据权利要求1所述的一种PVD真空镀膜机,其特征在于:所述U形夹板(29)上安装有夹持机构(30),所述夹持机构(30)包括两个握把(31),两个所述握把(31)的一侧均对称固定连接有两个螺杆(32),所述螺杆(32)的外部贯穿所述U形夹板(29)的内部,所述螺杆(32)远离所述握把(31)的一端固定连接有固定板(33),所述螺杆(32)的外部螺纹连接有螺母(34)。