1.一种半导体晶圆切割设备,包括保护壳体,所述保护壳体的内部设置有晶棒支撑组件以及切割组件,晶棒支撑组件位于切割组件的上方,其特征在于:所述保护壳体内还设置有削切液供液装置,所述削切液供液装置用于向晶棒切割部位进行供液,所述削切液供液装置安装在晶棒支撑组件和切割组件之间,所述切割组件上设置有钻石固化机构;
所述钻石固化机构包括包覆在上层金刚石线外侧的矩形盒体,所述矩形盒体包括上料区域和固化区域,所述矩形盒体位于上料区域侧面均匀开设有穿线孔,所述穿线孔为倾斜孔,且穿线孔靠近晶棒的一端孔距大于另一端的孔距,所述上料区域位于穿线孔的上方设置有存储仓,所述存储仓内填充有钻石颗粒浆料,所述存储仓与穿线孔之间贯穿设置有供料通道;
所述供料通道内设置有下压控制机构,下压控制机构包括滑动设置在供料通道内的插管,所述供料通道的上方通过支撑杆连接有塞帽,所述塞帽与插管的上端相互匹配,所述插管的下端连通有供料环,所述供料环的内圈开设有一圈出料孔,所述金刚石线穿过供料环,所述固化区域的一圈安装有光固化灯,所述光固化灯用于对金刚石线上的钻石颗粒浆料进行固化处理。
2.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆切割设备,其特征在于:所述晶棒支撑组件包括安装在保护壳体内顶部的升降组件,所述升降组件用于控制晶棒支撑组件的升降,所述晶棒支撑组件还包括安装座,所述安装座的上方中部开设置有安装槽,且在安装座的四周滑动设置有四组导柱,四组所述导柱的上端安装在保护壳体内顶部;
所述升降组件包括安装在保护壳体顶部的液压缸,所述液压缸的下端伸缩端安装在安装座上方的安装槽内;
所述安装座的下方开设有限位滑槽,所述限位滑槽内滑动设置有鸠尾座,所述鸠尾座包括呈T形设置的金属座,所述金属座限位滑动安装在限位滑槽内,所述金属座的两侧通过限位块限位,所述金属座的下方开设有用于固定晶棒的固定槽,所述金属座的侧面螺纹连接有螺纹丝杆,所述螺纹丝杆的一端连接有夹紧块,所述螺纹丝杆的另一端设置有旋转把手。
3.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆切割设备,其特征在于:所述切割组件包括两组平行设置的罗拉,且罗拉上均匀开设有线槽,所述罗拉的两侧设置有收线轮和放线轮,所述收线轮和放线轮以及罗拉的线槽缠绕有金刚石线。
4.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆切割设备,其特征在于:所述削切液供液装置包括供液箱,所述供液箱的出口端连接有供液管,所述供液管的另一端连通有供液盘,所述供液盘的侧面开设有出液口,所述出液口朝向金刚石线与晶棒的接触面供液。
5.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆切割设备,其特征在于:所述穿线孔的一端设置有刮片组件,所述刮片组件包括设置在穿线孔内的固定板,所述固定板的两侧连接弹簧,所述弹簧的另一端连接在上料区域位于穿线孔的上下两侧,所述固定板的中部开设有安装孔,所述安装孔内安装有刮片,所述刮片设置在金刚石线的下方。
6.一种实施权利要求1‑5任意一项所述的半导体晶圆切割设备的切割方法,其特征在于:切割工艺如下:a、切割机更换槽距为0.45mm‑0.55mm的罗拉;
b、将0.10mm‑0.14mm金刚石线绕至罗拉线槽内,并且调节张力,将张力均匀分布到钢线线网上;
3 3
c、将配置好密度为0.8kg/m‑1.2kg/m的金刚石砂浆,加入设备削切液供液装置,并循环均匀;
d、上机待切割6‑8英寸晶棒,晶棒粘至鸠尾座上,晶棒朝下,鸠尾座上,装入设备切割室;
e、将金刚石线绕过钻石固化机构;
f、根据晶棒横截面面积及晶棒长度设置切割参数,单片用线量、切割时间、砂浆流量、砂浆温度、线网张力、进给速度、进给位置、线网速度等;
g、开始切割,切割过程中监控砂浆温度、切削流量及晶棒线弓;
h、切割完成,缓升切割室下降装置,将鸠尾座和切割后晶片抬起脱离线网;
i、将切割后晶片下机,并脱胶收片,注意SiC切割片,C/Si面识别。
7.根据权利要求6所述的一种半导体晶圆切割设备的切割方法,其特征在于:所述钻石固化机构内填充的钻石颗粒浆料的配制工艺如下:步骤一:按比例量取所需量的预聚物、活性稀释剂和光引发剂倒入混料桶中,然后进行充分搅拌;
步骤二:取所需的钻石颗粒加入混料桶中,充分混入到预聚物、活性稀释剂和光引发剂中;
步骤三:充分搅拌混合36h,以确保钻石颗粒在预聚物、活性稀释剂和光引发剂中分散均匀,保证后续切割质量;
步骤四:将混合好的钻石颗粒浆料倒入存储仓内,可以向金刚石线补充钻石颗粒。