1.一种具有电场和载流子调制的MOSFET器件,其特征在于,该器件包括源极P+区(2)、源极N+区(3)、P‑well区(4)、漂移区(5)、第一漏极N+区(6)、多晶硅掺杂区(9)、P‑pillar区(10)、氧化层(11)、第二漏极N+区(12)以及漏极P+区(13);
所述漂移区(5)位于所述第一漏极N+区(6)表面,所述P‑well区(4)位于所述漂移区(5)表面,所述源极P+区(2)和源极N+区(3)位于所述P‑well区(4)表面;所述源极P+区(2)、源极N+区(3)、P‑well区(4)、漂移区(5)和第一漏极N+区(6)均位于所述氧化层(11)的一侧;
所述第二漏极N+区(12)位于所述漏极P+区(13)表面,所述P‑pillar区(10)位于所述第二漏极N+区(12)表面,所述多晶硅掺杂区(9)位于所述P‑pillar区(10)表面;所述多晶硅掺杂区(9)、P‑pillar区(10)、第二漏极N+区(12)和漏极P+区(13)均位于所述氧化层(11)的另一侧。
2.根据权利要求1所述的MOSFET器件,其特征在于,该器件还包括源极金属电极(1)、漏极金属电极(7)和栅极金属电极(8);其中,所述源极金属电极(1)位于所述源极P+区(2)和源极N+区(3)的表面;所述漏极金属电极(7)位于器件底部,分别与所述第一漏极N+区(6)、氧化层(11)和漏极P+区(13)接触;所述栅极金属电极(8)位于所述多晶硅掺杂区(9)表面。
3.根据权利要求1或2所述的MOSFET器件,其特征在于,所述氧化层(11)的厚度为0.05μm。
4.根据权利要求1或2所述的MOSFET器件,其特征在于,所述氧化层(11)采用二氧化硅。
5.根据权利要求1或2所述的MOSFET器件,其特征在于,所述多晶硅掺杂区(9)的掺杂类型为P型掺杂。
6.根据权利要求1或2所述的MOSFET器件,其特征在于,所述多晶硅掺杂区(9)的掺杂浓
19 ‑3
度为1×10 cm 。
7.根据权利要求1所述的MOSFET器件,其特征在于,所述漂移区(5)的掺杂类型为N型掺杂。
8.根据权利要求1所述的MOSFET器件,其特征在于,所述漂移区(5)的掺杂浓度为1.3×
15 ‑3
10 cm 。