1.一种基于电磁变化的负压驱动致动器,其特征在于,包括经过磁化处理的致动器本体以及嵌套在所述致动器本体一端的线圈基体,所述致动器本体一端为平面,所述线圈基体内的线圈随着所述致动器本体变形,所述致动器本体的一侧设有与外界气泵连通的通气孔,所述致动器本体的内部间隔设有若干相互连通且截面为多边形的空腔,多边形的空腔至少包括两相对设置的内角,两相对设置的内角之间的连线与所述致动器本体的平面端平行,通过所述通气孔抽离所述空腔内的空气使空腔内部呈现负压,通过相对设置的两内角,使得空腔内为负压时所述致动器本体朝靠近致动器本体平面端的方向弯曲,所述线圈与电磁测量装置连通,通过电磁测量装置测量所述致动器本体变形导致的电压变化和磁通量变化,以使得负压驱动致动器基于预设测量方法对其变形进行检测。
2.根据权利要求1所述的基于电磁变化的负压驱动致动器,其特征在于,若干空腔通过气道相互连通,所述气道的一端与所述通气孔连通,所述致动器本体远离平面端的一端间隔设有若干与所述空腔相适配的多边形凸台。
3.根据权利要求2所述的基于电磁变化的负压驱动致动器,其特征在于,若干间隔设置的空腔的截面形状相同且位于所述气道的同一侧,空腔的截面形状为六边形。
4.根据权利要求1所述的基于电磁变化的负压驱动致动器,其特征在于,两相对设置的内角 的角度范围为: 。
5.根据权利要求2所述的基于电磁变化的负压驱动致动器,其特征在于,所述致动器本体中多边形凸台所在一端的壁厚大于平面端的壁厚。
6.根据权利要求1所述的基于电磁变化的负压驱动致动器,其特征在于,所述致动器本体上设有卡槽结构,所述卡槽结构靠近所述通气孔设置,所述卡槽结构用于安装负压驱动致动器。
7.根据权利要求1所述的基于电磁变化的负压驱动致动器,其特征在于,所述线圈为方形涡状结构,线圈的直径为0.15 mm‑0.2mm。
8.根据权利要求1所述的基于电磁变化的负压驱动致动器,其特征在于,所述基于预设测量方法对其变形进行检测的步骤包括:获取负压驱动致动器变形时线圈的电压信号,对所述电压信号进行去噪处理,得到修正电压信号;
对所述修正电压信号进行积分,得到所述线圈在负压驱动致动器变形时的磁通量变化;
对所述磁通量变化与所述负压驱动致动器的变形量进行拟合,以根据磁通量的变化测量负压驱动致动器的变形。
9.根据权利要求1‑8任一所述基于电磁变化的负压驱动致动器的制备方法,其特征在于,包括:选取主模具、副模具、下模具、线圈模具、侧模具、线圈、包胶铝丝;
采用预设质量配比的硅胶和磁粉进行搅拌,制备混合材料;
按照预设的路径在所述线圈模具内进行线圈缠绕,向缠绕线圈后的线圈模具内倒入混合材料后固化,线圈模具脱模后得到线圈基体;
将所述主模具、副模具、下模具以及包胶铝丝进行组装,所述线圈基体置于所述副模具与所述下模具的间隙内,所述副模具上设有若干与空腔相适配的立柱,所述包胶铝丝的外径与通气孔的内径相适配;
向组装完成后的模具空腔内倒入混合材料后固化,将主模具、副模具、下模具以及包胶铝丝脱模后,得到开口式的致动器基体,致动器基体包括若干间隔设置的空腔、通气孔;
向侧模具内倒入混合材料,并将所述致动器基体的开口置于所述侧模具上进行固化,将侧模具脱模后得到致动器本体,线圈基体嵌套在所述致动器本体内;
对致动器本体和线圈基体进行充磁处理后得到基于电磁变化的负压驱动致动器。