1.一种用于PEALD反应腔室内等离子体特性的检测结构，包括反应腔室(1)，其特征在于，在所述反应腔室(1)内设置有两个垂直交叉的滑轨，在两个滑轨的交叉部安装有滑块(10)，所述滑块(10)能够沿着任意一个滑轨滑动，两个所述滑轨分别通过连接杆连接直线电机，所述直线电机固定于所述反应腔室(1)外侧，所述滑块(10)连接用于检测等离子体特性的朗缪尔探针(11)。

2.根据权利要求1所述的用于PEALD反应腔室内等离子体特性的检测结构，其特征在于，在所述反应腔室(1)的上面通过第一法兰(101)固定有第一固定架(2)，所述第一固定架(2)由多个第一支撑杆(22)和第一固定平台(21)组成，多个所述第一支撑杆(22)沿第一法兰(101)的周向方向均匀布置，所述第一支撑杆(22)的一端连接第一法兰(101)，另一端连接第一固定平台(21)，在所述第一固定平台(21)上固定有第一直线电机(3)，所述第一直线电机(3)包括第一电机顶杆(31)。

3.根据权利要求2所述的用于PEALD反应腔室内等离子体特性的检测结构，其特征在于，在所述第一固定架(2)内设置有第一波纹管(5)，所述第一波纹管(5)的一端与第一电机顶杆(31)固定连接，另一端与反应腔室(1)上的第一法兰(101)密封连接。

4.根据权利要求3所述的用于PEALD反应腔室内等离子体特性的检测结构，其特征在于，所述滑轨包括水平方向的第一滑轨(13)，所述第一滑轨(13)的一端连接第一连接杆(4)，所述第一连接杆(4)的另一端伸出反应腔室(1)与第一直线电机(3)固定连接，所述第一连接杆(4)穿过第一波纹管(5)与第一电机顶杆(31)连接。

5.根据权利要求4所述的用于PEALD反应腔室内等离子体特性的检测结构，其特征在于，所述第一电机顶杆(31)的端部为第一电机顶杆圆盘(311)，在所述第一电机顶杆圆盘(311)上设置有内圈安装盲孔和外圈安装通孔，所述第一连接杆(4)与第一直线电机(3)连接的一端为第一连接杆圆盘(41)，在所述第一连接杆圆盘(41)上开设有安装通孔，所述第一连接杆圆盘(41)通过螺栓与第一电机顶杆圆盘(311)上的内圈安装盲孔固定连接，所述第一连接杆圆盘(41)外侧安装有第一波纹管法兰(51)，所述第一波纹管法兰(51)通过螺栓与第一电机顶杆圆盘(311)上的外圈安装通孔固定连接。

6.根据权利要求1所述的用于PEALD反应腔室内等离子体特性的检测结构，其特征在于，在所述反应腔室(1)的侧面通过第二法兰(102)固定有第二固定架(6)，所述第二固定架(6)由多个第二支撑杆(62)和第二固定平台(61)组成，多个所述第二支撑杆(62)沿第二法兰(102)的周向方向均匀布置，所述第二支撑杆(62)的一端连接第二法兰(102)，另一端连接第二固定平台(61)，在所述第二固定平台(61)上固定有第二直线电机(7)，所述第二直线电机(7)包括第二电机顶杆(71)。

7.根据权利要求6所述的用于PEALD反应腔室内等离子体特性的检测结构，其特征在于，在所述第二固定架(6)内设置有第二波纹管(9)，所述第二波纹管(9)的一端与第二电机顶杆(71)固定连接，另一端与反应腔室(1)上的第二法兰(102)密封连接。

8.根据权利要求7所述的PEALD反应腔室内等离子体特性的检测结构，其特征在于，所述滑轨包括竖直方向的第二滑轨(14)，所述第二滑轨(14)的一端连接第二连接杆(8)，所述第二连接杆(8)的另一端伸出反应腔室(1)与第二直线电机(7)固定连接，所述第二连接杆(8)穿过第二波纹管(9)与第二电机顶杆(71)连接。

9.根据权利要求8所述的用于PEALD反应腔室内等离子体特性的检测结构，其特征在于，所述第二电机顶杆(71)的端部为第二电机顶杆圆盘(711)，在所述第二电机顶杆圆盘(711)上设置有内圈安装盲孔和外圈安装通孔，所述第二连接杆(8)与第二直线电机(7)连接的一端为第二连接杆圆盘(81)，在所述第二连接杆圆盘(81)上开设有安装通孔，所述第二连接杆圆盘(81)通过螺栓与第二电机顶杆圆盘(711)上的内圈安装盲孔固定连接，所述第二连接杆圆盘(81)外侧安装有第二波纹管法兰(91)，所述第二波纹管法兰(91)通过螺栓与第二电机顶杆圆盘(711)上的外圈安装通孔固定连接。

10.根据权利要求1所述的用于PEALD反应腔室内等离子体特性的检测结构，其特征在于，所述朗缪尔探针(11)由探针基座(112)和探头(111)组成，在所述反应腔室(1)的外侧安装有探针基座(112)，所述探针基座(112)与探头(111)柔性连接，所述探头(111)固定于所述滑块(10)的安装孔(103)内，所述滑块(10)由滑块螺母(104)和滑块基体组成，所述滑块基体安装于两个相互交叉的滑轨中，其剩余的两个自由端设置有限位螺纹(105)，通过滑块螺母(104)将滑块基体固定于两个垂直方向的滑轨之间，所述滑块螺母(104)与滑轨之间存在距离，保证滑块基体能够移动，在任意一个限位螺纹(105)一侧设置有安装孔(103)。