1.一种碳化硅片加工运输装置,包括运输仓(1),其特征在于:所述运输仓(1)的内壁安装有缓冲套(2),所述缓冲套(2)的外壁安装有卡块(3);
所述缓冲套(2)的内壁安装有碳化硅片(4);
所述运输仓(1)的底部安装有回弹机构(5)。
2.根据权利要求1所述的一种碳化硅片加工运输装置,其特征在于:所述缓冲套(2)以运输仓(1)的中轴线为中心呈等间距分布设置,所述缓冲套(2)通过卡块(3)与运输仓(1)卡合连接。
3.根据权利要求1所述的一种碳化硅片加工运输装置,其特征在于:所述碳化硅片(4)与缓冲套(2)插接,所述缓冲套(2)的内壁为弧形槽设置。
4.根据权利要求1所述的一种碳化硅片加工运输装置,其特征在于:所述回弹机构(5)包括顶板(501)、限位弹簧(502)、限位杆(503)、顶杆(504)、复位弹簧(505)、定位块(506)和定位弹簧(507),所述碳化硅片(4)的底部安装有顶板(501),所述顶板(501)的内壁安装有限位弹簧(502),所述限位弹簧(502)的外壁安装有限位杆(503),所述限位杆(503)的外壁安装有顶杆(504),所述顶杆(504)的外壁安装有复位弹簧(505),所述顶板(501)的底部安装有定位块(506),所述定位块(506)的外壁安装有定位弹簧(507)。
5.根据权利要求4所述的一种碳化硅片加工运输装置,其特征在于:所述顶板(501)与碳化硅片(4)紧密贴合,所述限位杆(503)通过限位弹簧(502)与顶板(501)构成伸缩结构。
6.根据权利要求4所述的一种碳化硅片加工运输装置,其特征在于:所述限位杆(503)与顶杆(504)紧密贴合,所述定位弹簧(507)以顶板(501)的中轴线为中心呈等间距分布设置。