1.一种超真空阀门装置,其特征在于,包括罩板(1),所述罩板(1)的一侧贯穿开设有穿孔(4),所述罩板(1)相背两侧均连接有阀管(2),阀管(2)与穿孔(4)同轴,所述阀管(2)的自由端套装有法兰盘(3),所述罩板(1)内竖直滑动安装有阀板(5),所述阀板(5)内部为中空,所述阀板(5)内部一侧构造有连接凸板(6),所述阀板(5)的一侧贯穿开设有贯通孔(7),所述连接凸板(6)上构造有与贯通孔(7)同轴的连接盘(8),所述连接盘(8)直径小于贯通孔(7)的直径,所述连接盘(8)的直径大于穿孔(4)的直径,所述连接盘(8)贯通孔(7)之间对称连接有弹性拉伸件(9),所述弹性拉伸件(9)上安装有紧密环板(10),常态下紧密环板(10)与阀板(5)外侧平齐,所述罩板(1)内安装有抵紧件(12),其用于驱动紧密环板(10)并抵触在罩板(1)内部的一侧,所述罩板(1)内安装有用于驱动阀板(5)移动的驱动件(14)。
2.根据权利要求1所述的一种超真空阀门装置,其特征在于,所述罩板(1)底部为开口,所述抵紧件(12)包括水平构造在所述罩板(1)内的封堵板(1201),当所述连接盘(8)与所述穿孔(4)同轴时,所述封堵板(1201)顶部与阀板(5)接触,所述罩板(1)内安装有用于向阀板(5)内输送气体的进气组件(11)。
3.根据权利要求2所述的一种超真空阀门装置,其特征在于,所述进气组件(11)包括构造在所述罩板(1)内部底端的第一套筒(1101)和第二套筒(1102),所述第一套筒(1101)的内径大于第二套筒(1102)的内径,所述第一套筒(1101)与第二套筒(1102)之间连通有连通管(1103),所述阀板(5)内安装有用于向第一套筒(1101)内输送气体的进气件(13),所述第二套筒(1102)顶端穿过封堵板(1201)。
4.根据权利要求3所述的一种超真空阀门装置,其特征在于,所述驱动件(14)包括竖直且转动安装在阀板(5)上的调节螺杆(1401),所述调节螺杆(1401)上螺纹套设有螺纹筒(1402),螺纹筒(1402)与进气件(13)连接,当所述阀板(5)与封堵板(1201)接触时,通过所述进气件(13)以向第一套筒(1101)内输送气体,所述罩板(1)外侧安装有与调节螺杆(1401)连接的电机(15)。
5.根据权利要求4所述的一种超真空阀门装置,其特征在于,所述罩板(1)上竖直安装有导向杆(18),所述进气件(13)包括对称竖直滑动安装在所述阀板(5)上的两个连接杆(1301),所述导向杆(18)上滑动安装有滑动筒(1304),螺纹筒(1402)与所述滑动筒(1304)上均构造有连接板(1302),两个连接板(1302)分别与两个连接杆(1301)连接,所述连接杆(1301)上套设有复位弹簧(1303),所述复位弹簧(1303)的一端与连接板(1302)连接,所述复位弹簧(1303)的另一端与阀板(5)连接,所述连接杆(1301)底端构造有活塞块(1305),所述活塞块(1305)与第一套筒(1101)同轴。
6.根据权利要求5所述的一种超真空阀门装置,其特征在于,所述弹性拉伸件(9)包括两个橡胶圈(901),两个橡胶圈(901)的一端分别连接在连接盘(8)和贯通孔(7)的沿边处,紧密环板(10)的两个沿边分别与两个橡胶圈(901)的一端连接。
7.根据权利要求6所述的一种超真空阀门装置,其特征在于,所述两个紧密环板(10)相背的两侧均开设有环形槽(17),所述环形槽(17)内安装有密封圈(16)。