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专利号: 2021205019527
申请人: 泉芯集成电路制造(济南)有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2025-02-06
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种真空传输阀门门板的升降装置,其特征在于,包括机架(1)、升降部(2)和固定部(3);

所述机架(1)能够与机台固定;

所述固定部(3)包括固定板(31)和固定杆(32),所述固定板(31)设有与所述固定杆(32)对应的固定孔,所述固定杆(32)的底部设有第一螺纹段,所述第一螺纹段能够穿过所述固定孔并与设于门板(4)顶端的第一螺孔配合固定,所述固定杆(32)顶端设有限位件(33),所述限位件(33)能够与所述固定板(31)的上端面抵接;

所述升降部(2)设于所述机架(1),并能够作用于所述固定板(31)使其带动所述固定杆(32)相对于所述机架(1)上升或下降,所述固定杆(32)的数量为至少两个并布置于所述升降部(2)的两侧。

2.根据权利要求1所述的真空传输阀门门板的升降装置,其特征在于,所述固定孔为条形孔,所述固定杆(32)能够沿所述固定孔的长度方向移动,以调节相邻两个所述固定杆(32)之间的间距。

3.根据权利要求1或2所述的真空传输阀门门板的升降装置,其特征在于,所述机架(1)设有第二螺孔,所述升降部(2)包括动作杆(21),所述动作杆(21)与所述固定板(31)可旋转连接,所述动作杆(21)的底部设有第二螺纹段,所述动作杆(21)还设有限位结构(22),所述动作杆(21)的顶端穿过所述固定板(31)且所述限位结构(22)能够贴合于所述固定板(31)的下端面;

所述动作杆(21)能够相对于所述机架(1)转动,并够通过所述第二螺纹段与所述第二螺孔之间的配合带动所述固定部(3)沿所述动作杆(21)的轴向移动。

4.根据权利要求3所述的真空传输阀门门板的升降装置,其特征在于,所述机架(1)设有分别与各所述动作杆(21)对应的导向孔,所述第一螺纹段依次穿过所述固定孔和所述导向孔并与所述第一螺孔配合固定,所述导向孔与所述固定孔同轴。

5.根据权利要求3所述的真空传输阀门门板的升降装置,其特征在于,所述限位结构(22)为沿所述动作杆(21)的周向设置的环形结构。

6.根据权利要求3所述的真空传输阀门门板的升降装置,其特征在于,所述机架(1)包括主体部(11)和支撑部(12),所述支撑部(12)设于所述主体部(11)的下方并设有安装板(13),所述安装板(13)能够与所述机台通过安装螺栓(14)固定,所述主体部(11)设有所述第二螺孔。

7.根据权利要求3所述的真空传输阀门门板的升降装置,其特征在于,所述动作杆(21)的顶端设有手动操作件(23)。

8.根据权利要求1或2所述的真空传输阀门门板的升降装置,其特征在于,所述机架(1)和所述固定板(31)的材质均为PVC。

9.根据权利要求1或2所述的真空传输阀门门板的升降装置,其特征在于,所述固定杆(32)为固定螺栓,所述固定螺栓的螺栓头形成所述限位件(33)。