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专利号: 2024213067352
申请人: 刘佳奇
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2025-11-14
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种芯片制造用可防静电的离子风机,包括风机本体(1),其特征在于:所述风机本体(1)的一侧可拆卸安装有过滤框(11),所述风机本体(1)的另一侧设置有离子圈(12),所述离子圈(12)的内侧环形设置有多个离子针,所述过滤框(11)的内腔两侧分别设置有第一过滤板(13)和第二过滤板(14),所述风机本体(1)的下端活动设置有直杆(2);

所述直杆(2)的一端焊接有滑块(21),所述风机本体(1)的下端一侧开设有滑槽(23),所述过滤框(11)的下端活动安装有楔形块(3),所述楔形块(3)的上端两侧均开设有卡合槽(31),所述直杆(2)的另一端上方焊接有球形杆(33),且所述球形杆(33)的上端与楔形块(3)的下端相贴合,所述滑块(21)的上端焊接有保护框(22),所述保护框(22)套设在离子圈(12)的外侧。

2.根据权利要求1所述的一种芯片制造用可防静电的离子风机,其特征在于:所述楔形块(3)的下端设置有斜面,且所述楔形块(3)的上端边沿固定安装有限位条(32)。

3.根据权利要求1所述的一种芯片制造用可防静电的离子风机,其特征在于:所述滑槽(23)的内腔固定安装有弹簧(24),所述弹簧(24)的另一端与滑块(21)固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种芯片制造用可防静电的离子风机,其特征在于:所述滑块(21)的尺寸与滑槽(23)的尺寸相适配,且所述滑块(21)与滑槽(23)滑动连接。

5.根据权利要求1所述的一种芯片制造用可防静电的离子风机,其特征在于:所述第一过滤板(13)与第二过滤板(14)的下端与卡合槽(31)活动连接。

6.根据权利要求1所述的一种芯片制造用可防静电的离子风机,其特征在于:所述直杆(2)的另一端焊接有圆环(4),所述风机本体(1)的下端另一侧设置有定位销(5),所述定位销(5)贯穿圆环(4)的中部与风机本体(1)的下端活动连接。