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专利号: 2024212983493
申请人: 江西省泽普半导体科技有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2026-09-16
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种集成光电子器件制造用清洁设备,包括清洁箱(1),其特征在于;

所述清洁箱(1)内部下端通过轴承连接有一排转动辊(13),所述转动辊(13)外侧连接有传输带(5),所述清洁箱(1)外侧安装有第一电机(7),且第一电机(7)输出端与转动辊(13)连接;

所述清洁箱(1)内部上端设有移动滑板(18),所述清洁箱(1)内部上端两侧通过轴承连接有丝杆(114),且移动滑板(18)中部设有螺纹孔(113)与丝杆(114)连接,所述清洁箱(1)外侧安装有第二电机(115),且第二电机(115)输出端与丝杆(114)连接,所述移动滑板(18)两侧设有定位孔(19),所述清洁箱(1)内部上端连接有定位杆(110)与定位孔(19)连接,所述移动滑板(18)底端面连接有第一安装盒(116),所述第一安装盒(116)内部对称安装有第二电动推杆(117),所述第二电动推杆(117)输出端贯穿第一安装盒(116)连接有第二安装盒(118),所述第二安装盒(118)内部安装有第三电机(119),且第三电机(119)输出端贯穿第二安装盒(118)连接有转动板(120),所述转动板(120)底端面连接有毛刷(121)。

2.根据权利要求1所述的一种集成光电子器件制造用清洁设备,其特征在于:所述清洁箱(1)下端贯穿设置,且清洁箱(1)底端设有支撑脚(2),所述清洁箱(1)下端安装有收集框(12)。

3.根据权利要求1所述的一种集成光电子器件制造用清洁设备,其特征在于:所述清洁箱(1)外侧安装有控制面板(3)与观察窗(4)。

4.根据权利要求1所述的一种集成光电子器件制造用清洁设备,其特征在于:所述清洁箱(1)内部两侧对称设有推动板(6),所述清洁箱(1)外侧对称设有若干个电动推杆(8),且电动推杆(8)输出端贯穿清洁箱(1)与推动板(6)连接,所述推动板(6)内部凹槽处转动连接有若干个转动轮(111),且转动轮(111)之间连接有侧边传输带(112)。

5.根据权利要求1所述的一种集成光电子器件制造用清洁设备,其特征在于:所述第二安装盒(118)底端两侧连接有侧边固定板(122),所述侧边固定板(122)一侧设有吹气导管(124)贯穿连接移动滑板(18)上端,所述清洁箱(1)顶端一侧安装有吹风机(9),且吹风机(9)输气端通过进气管(14)连接吹气导管(124)上端,所述吹气导管(124)位于侧边固定板(122)底端连接有喷气嘴(126)。

6.根据权利要求5所述的一种集成光电子器件制造用清洁设备,其特征在于:所述侧边固定板(122)另一侧设有吸尘导管(123)贯穿连接移动滑板(18)上端,且侧边固定板(122)底端安装有吸尘口(125)与吸尘导管(123)底端连接,所述清洁箱(1)顶端另一侧设有吸尘箱(10),所述吸尘箱(10)一侧通过吸尘管(11)连接吸尘导管(123)上端,所述吸尘箱(10)内部安装有过滤袋(15),所述过滤袋(15)另一侧安装有集气罩(16),所述集气罩(16)底端连接有吸风机(17)。