1.一种集成光电子器件制造用清洁设备,包括机架(1)和传送带(2),其特征在于,所述传送带(2)安装于呈U型的所述机架(1)的内部,所述传送带(2)带面上设置有多个透气孔(21),所述机架(1)进料端的两侧壁内侧均设置有导料板(3),所述机架(1)进料端顶部中心横向设置有同步驱动两侧所述导料板(3)的调距机构(4),所述机架(1)内部还安装有配合所述传送带(2)的负压吸附机构(5),所述机架(1)顶部中心设置有清洁机构。
2.根据权利要求1所述的一种集成光电子器件制造用清洁设备,其特征在于,所述导料板(3)前后端均向外扩。
3.根据权利要求1所述的一种集成光电子器件制造用清洁设备,其特征在于,所述调距机构(4)包括调距机箱(41)和调距组件(42),所述调距组件(42)安装于所述调距机箱(41)的内部,所述调距机箱(41)两端横跨于所述机架(1)顶部中心;
其中,所述调距组件(42)包括双轴减速电机(421)、驱动丝杆(422)和滑块(423),所述双轴减速电机(421)安装于所述调距机箱(41)内中心,所述驱动丝杆(422)有两个分别对接于所述双轴减速电机(421)两侧输出端上,所述滑块(423)有两个分别左右滑动卡接于所述调距机箱(41)内部的两侧,且两侧所述滑块(423)还分别螺纹套接于两侧所述驱动丝杆(422)上,两侧所述滑块(423)底部分别与两侧所述导料板(3)顶部中心固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种集成光电子器件制造用清洁设备,其特征在于,所述负压吸附机构(5)包括抽气泵(51)、抽气管(52)、主导气管(53)、分流管(54)、负压机箱(55)和多孔导气板(56),所述抽气泵(51)安装于所述机架(1)内部中心且位于所述传送带(2)的正下方,所述主导气管(53)有两个分别安装于所述机架(1)外部两侧壁上,两侧所述主导气管(53)与所述抽气泵(51)抽气端之间均通过所述抽气管(52)相连通,所述负压机箱(55)整体安装于所述机架(1)内部且位于所述传送带(2)的带面内侧,所述多孔导气板(56)顶面紧密贴合于所述传送带(2)上方带面的底部,两侧所述主导气管(53)与所述负压机箱(55)内部两侧均通过多个所述分流管(54)相连通。
5.根据权利要求1所述的一种集成光电子器件制造用清洁设备,其特征在于,所述清洁机构(6)包括机箱(61)、伸缩气缸(62)和清洁组件(63),所述伸缩气缸(62)安装于所述机箱(61)的顶部中心,所述清洁组件(63)设置于所述机箱(61)的正下方,所述伸缩气缸(62)伸缩端对接于所述清洁组件(63)的顶部中心。
6.根据权利要求1所述的一种集成光电子器件制造用清洁设备,其特征在于,清洁组件(63)包括固定架(631)、清洁滚筒(632)、驱动电机(633)和传动齿轮(634),所述清洁滚筒(632)有多个均匀安装于所述固定架(631)的内部,所述驱动电机(633)安装于所述固定架(631)的一侧且输出端与中心所述清洁滚筒(632)相对接,所述传动齿轮(634)有多个对接于每个所述清洁滚筒(632)的另一端且相啮合。