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专利号: 2024202435806
申请人: 深圳市天戈微电子有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2025-10-27
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.用于异构集成电路加工的定位蚀刻装置,包括激光蚀刻机本体(2),其特征在于:所述激光蚀刻机本体(2)的外部左侧固定连接有电机一(3),所述电机一(3)的输出端固定连接有螺杆一(4),所述螺杆一(4)的一端转动连接在激光蚀刻机本体(2)的内部,所述螺杆一(4)的外部螺纹连接有螺纹块(6),所述螺纹块(6)的底部固定连接有气缸(5),所述气缸(5)的输出端固定连接有固定块(13),所述固定块(13)的左右两侧均固定连接有连接架(14),所述连接架(14)的一侧固定连接有支撑框(15),所述支撑框(15)的前侧固定连接有微型电机(16),所述微型电机(16)的输出端固定连接有移动组件。

2.根据权利要求1所述的用于异构集成电路加工的定位蚀刻装置,其特征在于:所述移动组件包括螺杆二(17),所述螺杆二(17)固定连接在微型电机(16)的输出端,所述螺杆二(17)的外部螺纹连接有移动块(18),所述移动块(18)的底部固定连接有激光头(24)。

3.根据权利要求1所述的用于异构集成电路加工的定位蚀刻装置,其特征在于:所述激光蚀刻机本体(2)的内部滑动连接有推杆(12),所述推杆(12)的前侧开设有均匀分布的插孔(23),所述推杆(12)的相对应一端固定连接有夹具(7),所述夹具(7)的内部上侧前后均螺纹连接有螺栓(10),所述螺栓(10)的底端设置有移动板(11),所述螺栓(10)转动连接在移动板(11)的内部。

4.根据权利要求1所述的用于异构集成电路加工的定位蚀刻装置,其特征在于:所述激光蚀刻机本体(2)的一侧固定连接有支撑件(19),所述支撑件(19)的内部转动连接有转动杆(20),所述转动杆(20)底端固定连接有齿轮(21),所述齿轮(21)的一侧啮合连接有齿条插块(22)。

5.根据权利要求4所述的用于异构集成电路加工的定位蚀刻装置,其特征在于:所述齿条插块(22)滑动连接在插孔(23)的内部。

6.根据权利要求3所述的用于异构集成电路加工的定位蚀刻装置,其特征在于:所述夹具(7)的一侧前后均固定连接有伸缩杆(8),所述伸缩杆(8)的外部设置有弹簧(9),所述伸缩杆(8)的另一端固定在激光蚀刻机本体(2)的内部一侧。

7.根据权利要求1所述的用于异构集成电路加工的定位蚀刻装置,其特征在于:所述激光蚀刻机本体(2)的底部四角均固定连接有支脚(1)。

8.根据权利要求2所述的用于异构集成电路加工的定位蚀刻装置,其特征在于:所述螺杆二(17)的一端转动连接在支撑框(15)的内部,所述移动块(18)滑动连接在支撑框(15)的内部。