利索能及
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专利号: 2024200580434
专利类型:实用新型
专利状态:未下证
专利领域: 暂无
更新日期:2024-10-09
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种半导体制备用控制柜,包括柜体(1),其特征在于,所述柜体(1)的左面固定连接有中和罐(2),所述中和罐(2)内壁的下侧固定连接有分隔架(3),所述分隔架(3)内壁的下侧开设有多个通口(4),多个所述通口(4)的内壁均固定连接有多孔沸石板(12),所述中和罐(2)顶面左侧的后方固定连接有加料斗(5),所述加料斗(5)的下端延伸至分隔架(3)的内壁,所述中和罐(2)顶面左侧的前方固定连接有气管(6),所述柜体(1)内壁左侧的上方固定连接有固定壳(7),所述气管(6)的右端延伸至柜体(1)的内壁并与固定壳(7)的左面固定连接,所述固定壳(7)内壁的左侧设置有海绵板(8),所述海绵板(8)的前端延伸至固定壳(7)的前面,所述固定壳(7)内壁的右侧固定连接有风机(9),所述柜体(1)内壁右侧的下方开设有排气口(10),所述排气口(10)的内壁设置有单向阀(11)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体制备用控制柜,其特征在于,所述中和罐(2)出口端的端壁设置有电磁阀(13)。

3.根据权利要求1所述的一种半导体制备用控制柜,其特征在于,所述加料斗(5)表面的上侧螺纹连接有连接环(14),所述连接环(14)内壁的上侧设置有过滤网(15)。

4.根据权利要求1所述的一种半导体制备用控制柜,其特征在于,所述中和罐(2)的左面设置有观察窗(16)。

5.根据权利要求1所述的一种半导体制备用控制柜,其特征在于,所述风机(9)的输出端固定连接有长管(17),所述长管(17)的右端与柜体(1)内壁的右侧固定连接,所述长管(17)管壁的下侧固定连接有多个间隔排列的喷嘴(18)。

6.根据权利要求1所述的一种半导体制备用控制柜,其特征在于,所述柜体(1)内壁的下侧固定连接有安装板(19),所述安装板(19)的前面设置有若干电气元件(20)。

7.根据权利要求6所述的一种半导体制备用控制柜,其特征在于,所述安装板(19)的材质为铝合金,所述安装板(19)的前面开设有多个固定口(21)。