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一种基于谐振腔的微波等离子体EUV光源
￥20000
专利号： 2024119355540
申请人： 电子科技大学
专利类型：发明专利
专利状态：已下证
更新日期：2025-12-01
缴费截止日期： 暂无
国家局暂未公布该信息
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