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专利号: 2024115063280
申请人: 重庆师范大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-06-16
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.一种OLED基板蒸镀设备,其特征在于,包括固定安装于蒸镀机(1)内部的蒸发源(2),与蒸镀机(1)内壁固定连接的支撑框架(3),并在支撑框架(3)上安装有位于蒸发源(2)上方的掩膜板(4),以及在掩膜板(4)上设置有基板本体(5);掩膜板(4)周边以及中心区域均固定安装有连接套筒(6),并在连接套筒(6)内部设置有支撑脚(61),且支撑脚(61)一端贯穿连接套筒(6)顶部内壁并延伸至外部,多个支撑脚(61)端部用于对基板本体(5)进行支撑,并在支撑脚(61)内部安装有与其内壁滑动连接的安装轴体(62),其中安装轴体(62)内部设置有吸盘单元(63),吸盘单元(63)端部位于支撑脚(61)内部且与基板本体(5)表面接触;安装轴体(62)位于连接套筒(6)内部的一端固定安装有圆形盘架(621),并在连接套筒(6)底部内壁固定安装有电性磁板(64),电性磁板(64)位于圆形盘架(621)下方,且圆形盘架(621)靠近电性磁板(64)的表面为磁性面。

2.根据权利要求1所述的一种OLED基板蒸镀设备,其特征在于:支撑脚(61)上固定安装有环形面板(611),且环形面板(611)位于连接套筒(6)内部,并在环形面板(611)下方设置有与支撑脚(61)外壁转动连接的转动面板(612),且环形面板(611)与转动面板(612)之间连接有扭簧(613),并在转动面板(612)和圆形盘架(621)外壁均对称安装有滑行轴体(614),且连接套筒(6)内壁设置有竖向滑槽(65)和横向滑槽(66),转动面板(612)上的滑行轴体(614)可在竖向滑槽(65)和横向滑槽(66)内限位滑动,圆形盘架(621)上的滑行轴体(614)只能在竖向滑槽(65)内限位滑动。

3.根据权利要求2所述的一种OLED基板蒸镀设备,其特征在于:转动面板(612)位于圆形盘架(621)上方,并在转动面板(612)靠近圆形盘架(621)的一侧对称设置有板状磁铁(615),且圆形盘架(621)靠近转动面板(612)的一侧对称安装有柱状电磁组(622),其中板状磁铁(615)位于柱状电磁组(622)的运动轨迹上,柱状电磁组(622)通电对处于运动轨迹上的板状磁铁(615)产生相吸作用力。

4.根据权利要求1所述的一种OLED基板蒸镀设备,其特征在于:支撑脚(61)用于对基板本体(5)支撑的一端呈圆弧状设置,并在支撑脚(61)圆弧状的一端设置有凸起部(616),凸起部(616)用于作用于吸盘单元(63)端部,使得吸盘单元(63)端部与基板本体(5)表面紧密贴合。

5.根据权利要求1所述的一种OLED基板蒸镀设备,其特征在于:圆形盘架(621)与连接套筒(6)底部之间连接有恒力弹簧(67)。

6.根据权利要求1所述的一种OLED基板蒸镀设备,其特征在于:掩膜板(4)周边的每个连接套筒(6)内部均设置有磁性轴体(68),且磁性轴体(68)与圆形盘架(621)底部固定连接,掩膜板(4)周边的每个连接套筒(6)底部均固定安装有横向框架(7),并在横向框架(7)上固定安装有连接外框(8),且连接外框(8)与支撑框架(3)固定连接,磁性轴体(68)可运动至横向框架(7)内部。

7.根据权利要求6所述的一种OLED基板蒸镀设备,其特征在于:横向框架(7)内部设置有啮合齿轮(71),并在啮合齿轮(71)上安装有与横向框架(7)内壁转动连接的传动轴体(72),传动轴体(72)端部贯穿横向框架(7)内壁并延伸至连接外框(8)内部,其中横向框架(7)内部安装有与其内壁滑动连接的啮合齿排(73),其中啮合齿排(73)与啮合齿轮(71)处于啮合状态,且啮合齿排(73)端部固定安装有驱动轴体(74),驱动轴体(74)端部为磁性端并位于磁性轴体(68)的运动轨迹上,磁性轴体(68)对位于运动轨迹上的驱动轴体(74)端部产生相吸作用力,其中啮合齿排(73)与横向框架(7)内壁之间连接有复位弹簧(75)。

8.根据权利要求7所述的一种OLED基板蒸镀设备,其特征在于:传动轴体(72)位于连接外框(8)内部的一端还固定安装有蜗杆(721),并在连接外框(8)内部设置有与蜗杆(721)啮合的蜗轮(81),其中连接外框(8)外壁对称安装有限位套筒(82),其中蜗轮(81)上固定安装有转动轴体(83),转动轴体(83)端部依次贯穿连接外框(8)和限位套筒(82)内壁并延伸至外部,且连接外框(8)外部还设置有压板(84),压板(84)与转动轴体(83)之间通过连接部(85)固定连接。

9.根据权利要求8所述的一种OLED基板蒸镀设备,其特征在于:限位套筒(82)外壁固定安装有阻尼橡胶(821),并在转动轴体(83)上固定安装有固定盘架(86),且固定盘架(86)上固定安装有橡胶轴体(861),阻尼橡胶(821)位于橡胶轴体(861)的运动轨迹上。

10.根据权利要求6所述的一种OLED基板蒸镀设备,其特征在于:掩膜板(4)周边的每个连接套筒(6)底部内壁还固定安装有屏蔽套筒(69),磁性轴体(68)端部通过屏蔽套筒(69)进入到横向框架(7)内部,且电性磁板(64)套设于屏蔽套筒(69)外部。