1.一种OLED蒸镀设备的真空系统，包括一个真空腔体及若干蒸发源，其特征在于，所述真空腔体通过真空插板阀与蒸发源连通，真空腔体及各个蒸发源分别通过各自的真空管路与真空泵连接，每一真空管路上均设有真空角阀；真空腔体及各个蒸发源分别通过各自的氮气管路与氮气钢瓶连接，每一氮气管路上均设有气动截止阀；

所述真空腔体及各个蒸发源的各真空管路汇集到一根总管后与真空泵连接；

所述真空腔体及各个蒸发源的各氮气管路汇集到一根总管后与氮气钢瓶连接。

2.如权利要求1所述的真空系统，其特征在于，所述真空插板阀为气动阀。

3.如权利要求1所述的真空系统，其特征在于，所述真空泵为罗茨真空泵。

4.如权利要求1所述的真空系统，其特征在于，所述真空管路及氮气管路的材质均为

316LEP不锈钢。

5.如权利要求1所述的真空系统，其特征在于，所述真空腔体的真空管路的管径是各个蒸发源的真空管路的管径的1.6倍。

6.一种用于权利要求1 5任意一项所述真空系统的工作方法，其特征在于，包括以下步~骤：

步骤S1：关闭需更换膜材料的蒸发源与真空腔体之间真空插板阀；关闭需更换膜材料的蒸发源的真空支管上的真空角阀；

步骤S2：开启需更换膜材料的蒸发源的氮气支管上的气动阀截止阀，打开氮气钢瓶的出口阀，氮气钢瓶中的氮气通过氮气总管、氮气支管进入需更换膜材料的蒸发源中，直至需更换膜材料的蒸发源内腔压力与大气压力平衡，关闭需更换膜材料的蒸发源的氮气支管上的气动阀截止阀；

步骤S3：拆除需更换膜材料的蒸发源的固定螺丝，轻轻取出坩埚，掏净坩埚内的剩余膜材料，添加或者更换新膜材料；

步骤S4：关闭氮气钢瓶的出口阀，关闭更换膜材料的蒸发源的氮气支管上的气动阀截止阀，打开需更换膜材料的蒸发源的真空支管上的真空角阀；

步骤S5：开启真空泵，当真空管路内的真空度到目标值后，开启需更换膜材料的蒸发源的真空支管上的真空角阀，直至需更换膜材料的蒸发源内真空度达到目标值；

步骤S6：打开需更换膜材料的蒸发源与真空腔体之间插板阀，使得需更换膜材料的蒸发源与真空腔体连通，所有蒸发源与真空腔体处于统一的蒸镀环境中。