1.一种寻边定位方法，其特征在于，所述方法应用于寻边机构，所述寻边机构包括定位基座(2)和检测机构；晶圆(1)放置在所述定位基座(2)上，所述定位基座(2)上设有晶圆定心位置、第一检测孔(21)和第二检测孔(22)，所述晶圆定心位置与所述晶圆(1)的圆心重合；所述第一检测孔(21)和所述第二检测孔(22)的尺寸相同并均连接所述检测机构，所述第一检测孔(21)圆心与所述第二检测孔(22)圆心之间的连线为定位基准线，所述晶圆定心位置至所述定位基准线的距离 满足以下关系： ，其中，为所述晶圆的圆心至定位边(11)的距离，为所述第一检测孔(21)和所述第二检测孔(22)的半径；所述检测机构，用于检测设定检测物质通过所述第一检测孔(21)和所述第二检测孔(22)的检测值，所述检测值与所述第一检测孔(21)和所述第二检测孔(22)被所述晶圆(1)遮挡的面积成正比；

所述方法包括以下步骤：

将所述晶圆(1)放置于所述定位基座(2)并完全遮挡所述第一检测孔(21)和所述第二检测孔(22)，且获取上述情况下的所述第一检测孔(21)和所述第二检测孔(22)内的检测值；

绕所述晶圆(1)的圆心驱动所述晶圆(1)旋转，使所述晶圆(1)的定位边(11)与所述第一检测孔(21)相切或相割、且与所述第二检测孔(22)相割，获取上述情况下的所述第一检测孔(21)的检测值 、 和所述第二检测孔(22)的检测值 ；

根据所述检测值 所述第一检测孔(21)的检测值 、 和所述第二检测孔(22)的检测值 、所述第一检测孔(21)的半径 ，以及所述第一检测孔(21)与所述第二检测孔(22)之间的圆心距 ，计算所述晶圆(1)的定位边(11)与所述定位基准线所成的夹角 ；

驱动所述晶圆(1)旋转夹角 ，使所述晶圆(1)的定位边(11)与所述定位基准线平行。

2.根据权利要求1所述的寻边定位方法，其特征在于，

在所述晶圆(1)的定位边(11)与所述第一检测孔(21)相切且与所述第二检测孔(22)相割时，根据所述检测值 所述第一检测孔(21)的检测值 和所述第二检测孔(22)的检测值 、所述第一检测孔(21)的半径 ，以及所述第一检测孔(21)与所述第二检测孔(22)之间的圆心距 ，计算所述晶圆(1)的定位边(11)与所述定位基准线所成的夹角 包括：利用所述检测值 和检测值 计算所述第二检测孔(22)被遮挡部分的弧度 ；

利用弧度 、所述第二检测孔(22)的半径 和所述第一检测孔(21)与所述第二检测孔(22)之间的圆心距 计算所述晶圆(1)的定位边(11)与所述定位基准线所成的夹角 。

3.根据权利要求2所述的寻边定位方法，其特征在于，根据如下方式计算弧度 ：。

4.根据权利要求3所述的寻边定位方法，其特征在于，按照如下方式计算夹角 ：。

5.根据权利要求1所述的寻边定位方法，其特征在于，

在所述晶圆(1)的定位边(11)与所述第一检测孔(21)相割、且与所述第二检测孔(22)相割时，根据所述检测值 所述第一检测孔(21)的检测值 和所述第二检测孔(22)的检测值 、所述第一检测孔(21)的半径 ，以及所述第一检测孔(21)与所述第二检测孔(22)之间的圆心距 ，计算所述晶圆(1)的定位边(11)与所述定位基准线所成的夹角 包括：利用所述检测值 和检测值 计算所述第一检测孔(21)被遮挡部分的弧度 ；

利用所述检测值 和检测值 计算所述第二检测孔(22)被遮挡部分的弧度 ；

利用弧度 、弧度 、所述第一检测孔(21)的半径 ，以及所述第一检测孔(21)与所述第二检测孔(22)之间的圆心距 ，计算所述晶圆(1)的定位边(11)与所述定位基准线所成的夹角 。

6.根据权利要求5所述的寻边定位方法，其特征在于，根据如下方式计算弧度 和弧度：；

。

7.根据权利要求6所述的寻边定位方法，其特征在于，根据如下方式计算所述第一检测孔(21)的弦心距 和所述第二检测孔(22)的弦心距 ：；

。

8.根据权利要求7所述的寻边定位方法，其特征在于，当所述晶圆(1)的定位边(11)与所述第一检测孔(21)的割线，以及所述晶圆(1)的定位边(11)与所述第二检测孔(22)的割线，位于所述第一检测孔(21)圆心和所述第二检测孔(22)圆心之间连接线的同侧时，则所述晶圆(1)定位边(11)的延长线与所述圆心距L所对应线段的延长线存在交点。

9.根据权利要求8所述的寻边定位方法，其特征在于，若所述交点与所述第一检测孔(21)圆心的距离小于所述交点与所述第二检测孔(22)圆心的距离，则按照以方式计算所述交点到所述第一检测孔(21)之间的距离 和夹角 ：,

或 。

10.根据权利要求8所述的寻边定位方法，其特征在于，若所述交点与所述第二检测孔(22)圆心的距离小于所述交点与所述第一检测孔(21)圆心的距离，则按照以方式计算所述交点到所述第二检测孔(22)之间的距离 和夹角 ：,

或 。

11.根据权利要求7所述的寻边定位方法，其特征在于，所述晶圆(1)的定位边(11)与所述第一检测孔(21)的割线以及所述晶圆(1)的定位边(11)与所述第二检测孔(22)的割线位于所述第一检测孔(21)圆心和所述第二检测孔(22)圆心之间连接线的异侧，则所述晶圆(1)定位边(11)与所述圆心距 所对应的线段存在交点，且所述交点位于所述第一检测孔(21)和所述第二检测孔(22)之间。

12.根据权利要求11所述的寻边定位方法，其特征在于，按照如下方式计算所述交点到所述第二检测孔(22)的距离y和夹角 ：  ,

。

13.根据权利要求1‑12中任一项所述的寻边定位方法，其特征在于，所述设定检测物质为气体，所述第一检测孔(21)为第一吹气孔，所述第二检测孔(22)为第二吹气孔，所述检测值为所述第一吹气孔和所述第二吹气孔的气压值，所述检测机构设置为用于检测所述第一检测孔和所述第二检测孔内的气压值；或者，所述设定检测物质为光束，所述第一检测孔(21)为第一透光孔，所述第二检测孔(22)为第二透光孔，所述检测值为所述第一透光孔和第二透光孔的遮光率，所述检测机构设置为用于检测通过所述第一透光孔和所述第二透光孔的遮光率。