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专利号: 2024111667243
申请人: 苏州赛美达半导体科技有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-05-14
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种晶圆生产用转移设备,包括底座(1)和转移机构,其特征在于:所述转移机构包括边板(11)和外导轨(12),边板(11)固定安装在底座(1)上,外导轨(12)通过L形的焊架焊接在边板(11)的外侧,边板(11)和外导轨(12)均设置有两个,两个边板(11)互相远离的一侧均设置有链条(13),任一链条(13)通过两个齿轮(14)连接,齿轮(14)转动连接在边板(11)上,底座(1)的顶部固定安装有驱动电机(15),链条(13)和齿轮(14)通过驱动电机(15)驱动;

两个所述外导轨(12)之间设置有限位机构,限位机构包括四个滑动组件和限位夹板(23),滑动组件包括圆形结构的滑块(2)、连接杆(21)和活动块(22),滑块(2)和连接杆(21)均设置有两个,两个滑块(2)均滑动连接在外导轨(12)和边板(11)之间,滑块(2)的一侧与链条(13)固定连接,连接杆(21)与滑块(2)一一对应,连接杆(21)固定连接在滑块(2)的一侧,活动块(22)与连接杆(21)固定连接,限位夹板(23)设置有四个并分别固定安装在同一限位机构内的四个活动块(22)上;

任一所述限位夹板(23)设置有弧形结构的夹持面(231),限位夹板(23)的厚度小于晶圆的厚度,四个限位夹板(23)之间夹持设置有晶圆本体(232);

所述活动块(22)上设置有两个稳定机构,两个稳定机构分别设置在活动块(22)的上部和下部,两个稳定机构呈对称分布,稳定机构包括缺口(221)、转动槽、轴杆(223)、连接槽(224)和稳定夹板(225),缺口(221)开设在活动块(22)的中部,任一稳定机构内的转动槽开设有两个,两个转动槽分别开设在同一缺口(221)的两个侧壁上,连接槽(224)设置有两个,两个连接槽(224)分别开设在缺口(221)的两侧,两个连接槽(224)分别与两个转动槽相连通,轴杆(223)的两端分别贯穿两个转动槽并插入两个连接槽(224)内,稳定夹板(225)焊接在轴杆(223)的两端。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆生产用转移设备,其特征在于:任一所述稳定机构内的缺口(221)上滑动连接有齿板(226),任一轴杆(223)上固定设置有半齿轴(227),齿板(226)靠近外导轨(12)的一侧固定安装有驱动块(3),驱动块(3)上开设有三角形结构的斜面(31),两个外导轨(12)相互靠近的一侧均固定安装有挤压条一(16),两个外导轨(12)相互靠近的一侧均固定安装有两个对称的挤压条二(17)。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆生产用转移设备,其特征在于:任一所述活动块(22)上设置有与稳定机构相适配的限位机构,限位机构包括导片(41)、滚轴(42)、传动带(43)和限位杆(44),导片(41)固定安装在齿板(226)远离驱动块(3)的一侧上,滚轴(42)转动连接在稳定夹板(225)的上表面,限位夹板(23)的板面上固定安装有滑杆(45),限位杆(44)滑动设置在滑杆(45)上,稳定夹板(225)上开设有让位槽(228)。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆生产用转移设备,其特征在于:任一所述稳定夹板(225)上设置有与稳定机构相适配的缓冲机构,缓冲机构包括两个安装座(61)和缓冲气囊(62),两个安装座(61)通过螺栓固定安装在稳定夹板(225)的板面上,缓冲气囊(62)固定设置在两个安装座(61)之间。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆生产用转移设备,其特征在于:所述稳定夹板(225)上固定安装有与缓冲气囊(62)相对应的呈弧形结构的支撑板(63),支撑板(63)与缓冲气囊(62)接触。

6.根据权利要求2所述的一种晶圆生产用转移设备,其特征在于:任一所述驱动块(3)上的斜面(31)的开设方向与运动方向一致,驱动电机(15)驱动链条(13)的转动方向与斜面(31)的受力方向相适应。