1.一种多晶硅片表面磁力抛光装置,其特征在于,包括
磁力抛光机(1);
箱体(2),所述箱体(2)固定安装在磁力抛光机(1)的顶部;
盖板(3),所述盖板(3)处于箱体(2)的顶部;
外壳(4),所述外壳(4)固定安装在盖板(3)的顶部;
定位机构和夹持机构,所述定位机构分别与夹持机构和外壳(4)相配合;
安装机构和拆卸机构,所述安装机构和拆卸机构的数量为两组,安装机构分别与盖板(3)、外壳(4)和拆卸机构相配合;
旋转机构,所述旋转机构的数量为两个,旋转机构包括:滑动板(5)、电机(7)、皮带轮(8)、皮带(9)、转轴(10)和夹具(11);
滑动板(5)滑动连接在外壳(4)的顶部内壁上,皮带轮(8)与滑动板(5)转动连接,转动贯穿滑动板(5),转轴(10)与下方位置的皮带轮(8)固定连接,转轴(10)与夹具(11)固定连接,皮带(9)套设在两个皮带轮(8)上,电机(7)与滑动板(5)固定连接,电机(7)输出轴贯穿滑动板(5),电机(7)输出轴与顶部位置的皮带轮(8)固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种多晶硅片表面磁力抛光装置,其特征在于,所述盖板(3)的顶部开设有对称设置的矩形通孔,两个滑动板(5)和两个保护罩(6)的外侧分别与两个矩形通孔的内壁滑动连接。
3.根据权利要求1所述的一种多晶硅片表面磁力抛光装置,其特征在于,两个夹具(11)相互靠近的一侧均固定安装有护垫(12)。
4.根据权利要求1所述的一种多晶硅片表面磁力抛光装置,其特征在于,两个滑动板(5)相互远离的一侧均固定安装有保护罩(6)。
5.根据权利要求1所述的一种多晶硅片表面磁力抛光装置,其特征在于,所述夹持机构包括:固定杆(13)、连接杆(14)、中间杆(15)、推动杆(16)和控制杆(17);
两个固定杆(13)分别与两个滑动板(5)固定连接,固定杆(13)与连接杆(14)转动连接,连接杆(14)与中间杆(15)转动连接,中间杆(15)贯穿外壳(4)的顶部,中间杆(15)与推动杆(16)转动连接,推动杆(16)与控制杆(17)转动连接,控制杆(17)与转动架(24)转动连接,转动架(24)固定安装在外壳(4)的顶部。
6.根据权利要求1所述的一种多晶硅片表面磁力抛光装置,其特征在于,所述定位机构包括:伸缩杆(18)、滑动块(19)、拉动杆(20)、定位架(21)、定位盘(23)、定位弹簧(25)、固定板(26);
伸缩杆(18)转动连接在控制杆(17)的前侧,伸缩杆(18)与滑动块(19)转动连接,滑动块(19)与固定板(26)滑动连接,滑动块(19)与拉动杆(20)转动连接,拉动杆(20)与定位架(21)转动连接,定位架(21)与定位弹簧(25)固定连接,定位弹簧(25)与固定板(26)固定连接,固定板(26)与控制杆(17)固定连接,定位盘(23)固定安装在外壳(4)的顶部,定位盘(23)与定位架(21)相配合。
7.根据权利要求1所述的一种多晶硅片表面磁力抛光装置,其特征在于,所述安装机构包括:插入架(27)、对接壳(28)、安装架(29)和安装弹簧(31);
插入架(27)与盖板(3)固定连接,对接壳(28)与箱体(2)固定连接,插入架(27)的外侧与对接壳(28)的内壁滑动接触,安装架(29)滑动连接在对接壳(28)的内壁上,安装架(29)与插入架(27)相配合,安装架(29)与安装弹簧(31)固定连接,安装弹簧(31)与对接壳(28)的内壁固定连接。
8.根据权利要求1所述的一种多晶硅片表面磁力抛光装置,其特征在于,所述拆卸机构包括:带动架(32)、圆块(33)、转动杆(34)、辅助杆(35)、连接架(36)、配合杆(37)、贴合块(38)、解锁架(39)和安装块(30);
带动架(32)与安装架(29)固定连接,圆块(33)固定安装在带动架(32)的前侧,安装块(30)与对接壳(28)的内壁固定连接,安装块(30)与转动杆(34)转动连接,转动杆(34)与辅助杆(35)转动连接,辅助杆(35)与连接架(36)转动连接,连接架(36)与配合杆(37)转动连接,配合杆(37)与贴合块(38)转动连接,贴合块(38)滑动连接在外壳(4)的顶部,贴合块(38)与解锁架(39)滑动接触。
9.根据权利要求5所述的一种多晶硅片表面磁力抛光装置,其特征在于,所述定位盘(23)的顶部开设有等间距排列的多个定位槽,定位架(21)的右侧固定安装有定位块(22),定位块(22)的外侧与定位槽的内壁可脱离式卡接。
10.根据权利要求7所述的一种多晶硅片表面磁力抛光装置,其特征在于,两个插入架(27)相互远离的一侧均开安装槽,两个安装架(29)相互靠近的一侧均固定安装有插入块(40),插入块(40)的外侧与安装槽的内壁可脱离式卡接。