1.一种宽波段自驱动线偏振灵敏光电探测器,其特征在于,包括基底,以及设置在所述基底上的ZrS3层和ReSe2层,ZrS3层和ReSe2层之间部分重合形成ZrS3/ReSe2范德华异质结,ZrS3层为n型多层结构,ReSe2层为p型单层或多层结构,光电探测器的源极设置在ReSe2层上,漏极设置在ZrS3层上,栅极设置在基底背面;
所述光电探测器利用n型ZrS3和p型ReSe2异质结界面处形成的内建电场实现自驱动工作,无需外加偏置电压;
所述光电探测器借助ZrS3和ReSe2结构各向异性导致的光电各向异性,实现对线偏振光的探测。
2.如权利要求1所述的一种宽波段自驱动线偏振灵敏光电探测器,其特征在于,所述基底包括硅衬底和覆盖在硅衬底上的二氧化硅层。
3.如权利要求2所述的一种宽波段自驱动线偏振灵敏光电探测器,其特征在于,所述硅衬底为p型高掺硅衬底。
4.如权利要求1所述的一种宽波段自驱动线偏振灵敏光电探测器,其特征在于,所述源极的材质为金、银、铟、铜、钛中的一种或多种,和/或,所述漏极的材质为金、银、铟、铜、钛中的一种或多种。
5.如权利要求4所述的一种宽波段自驱动线偏振灵敏光电探测器,其特征在于,所述源极和所述漏极均作为引出电极,用于与外部电路相连。
6.如权利要求1所述的一种宽波段自驱动线偏振灵敏光电探测器,其特征在于,所述栅极的材质为金、银、铟、铜、钛中的一种或多种。
7.如权利要求6所述的一种宽波段自驱动线偏振灵敏光电探测器,其特征在于,所述栅极作为引出电极,用于与外部电路相连。
8.一种如权利要求1‑7任一项所述的宽波段自驱动线偏振灵敏光电探测器的制备方法,其特征在于,包括:制备基底;
制备ReSe2薄膜,将ReSe2薄膜覆盖在基底上,得到ReSe2层;
制备ZrS3,将ZrS3定向转移到ReSe2薄膜上,得到ZrS3层和ZrS3/ReSe2范德华异质结;
采用标准光刻工艺,旋涂光刻胶,在光刻机下定位ZrS3/ReSe2范德华异质结,使用光刻掩膜版进行曝光,然后显影;
分别在ReSe2层和ZrS3层上制备源极和漏极;
在基底背面制备栅极,完成光电探测器的制备;
利用n型ZrS3和p型ReSe2异质结界面处形成的内建电场实现自驱动工作,无需外加偏置电压;
借助ZrS3和ReSe2结构各向异性导致的光电各向异性,实现对线偏振光的探测。