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专利号: 2022115173667
申请人: 南京信息工程大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-06-16
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种多波段红外偏振选择的光电探测阵列,光电探测阵列包括透明绝缘基底(1),其特征在于,所述透明绝缘基底(1)上方设有阵列分布的内部单元像素探测器,内部单元像素探测器包括栅电极(2)、绝缘层(3)、有源层(4)、源漏电极(5)、光敏层(6),栅电极(2)安装在透明绝缘基底(1)上方,栅电极(2)上方设有包覆的绝缘层(3),绝缘层(3)上方设有有源层(4),有源层(4)上方设有光敏层(6)和源漏电极(5);

所述光电探测阵列的制备方法包括以下步骤:

步骤1、对透明绝缘基底(1)进行丙酮、酒精和去离子水的超声振荡清洗;

步骤2、在清洗后的透明绝缘基底(1)上通过喷墨打印,采用打印电压20V,银离子喷墨墨水进行栅电极(2)的制备;

步骤3、通过旋涂、点胶、溅射或喷墨打印方式制备绝缘层(3),使绝缘层(3)包覆栅电极(2);

步骤4、对绝缘层(3)表面进行硒化铅有源层(4)的磁控溅射;

步骤5、将上述步骤制备的绝缘基底(1)、栅电极(2)、绝缘层(3)和有源层(4)置于匀胶台上,单次选取5ml胶质溶液通过喷墨打印的方式进行点胶制备,按标准图案化处理,在有源层(4)处进行光敏层(6)叠加;

步骤6、将步骤5中点胶完的样品送入60℃恒温烘箱中进行1小时的恒温烘干;

步骤7、在图案化两端的有源层(4)中进行源漏电极(5)的打印,形成光电探测阵列;

所述步骤5中胶质溶液通过以下方式制备:

采用0.5mol/L的硒化锗碎片分散液与0.02mol/L的硫化铅量子点分散液混合,通过加入甲苯与邻苯二甲酸氢钾的3:1混合溶液进行溶液pH值的调试,pH值为5.5时进行75℃水浴加热1小时,静置于60℃的恒温烘箱中3小时,然后自然降为室温得到量子点与纳米片分散的胶质溶液;

所述胶质溶液喷墨打印形成的光敏层(6)在920nm的152度偏振选择与1040nm处的141度偏振选择,用于检测判别药物溶液成分、浓度和细胞组织。

2.根据权利要求1所述的一种多波段红外偏振选择的光电探测阵列,其特征在于,所述透明绝缘基底(1)尺寸为10cm×10cm,材质包括玻璃和石英。

3.根据权利要求1所述的一种多波段红外偏振选择的光电探测阵列,其特征在于,所述步骤1中透明绝缘基底(1)的丙酮、酒精和去离子水的超声振荡清洗的每个步骤时间至少为

15分钟。

4.根据权利要求1所述的一种多波段红外偏振选择的光电探测阵列,其特征在于,所述步骤2中栅电极(2)的厚度为200μm,中心边缘高度差不超过5μm。

5.根据权利要求1所述的一种多波段红外偏振选择的光电探测阵列,其特征在于,所述步骤3中绝缘层(3)的高度相对值方差小于10nm。