1.一种坩埚厚度测量方法,其特征在于,包括如下步骤:
步骤一,将被测坩埚按照设定的阵列参数进行排列,得到坩埚厚度采集阵列;
步骤二,以横向为厚度采集方向,根据坩埚厚度采集阵列的行数,分为多个横向坩埚厚度采集组,厚度采集设备在设定厚度采集距离分别获取各个横向坩埚厚度采集组的厚度数据,得到坩埚厚度采集阵列横向厚度数据序列,进入步骤四;
步骤三,以纵向为厚度采集方向,根据坩埚厚度采集阵列的列数,分为多个纵向坩埚厚度采集组,厚度采集设备在设定厚度采集距离分别获取各个纵向坩埚厚度采集组的厚度数据,得到坩埚厚度采集阵列纵向厚度数据序列,进入步骤五;
步骤四,根据横向坩埚厚度采集组和标准坩埚横向厚度数据,得到坩埚厚度采集阵列横向厚度标准数据,根据坩埚厚度采集阵列横向厚度数据序列,得到与坩埚厚度采集阵列横向厚度标准数据的差值,若存在差值大于横向差值阈值,则定位得到瑕疵横向坩埚厚度采集组,进入步骤六,否则,进入步骤五;
步骤五,根据纵向坩埚厚度采集组和标准坩埚纵向厚度数据,得到坩埚厚度采集阵列纵向厚度标准数据,根据坩埚厚度采集阵列纵向厚度数据序列,得到与坩埚厚度采集阵列纵向厚度标准数据的差值,若存在差值大于纵向差值阈值,则定位得到瑕疵纵向坩埚厚度采集组,进入步骤六,否则,进入步骤七;
步骤六,根据瑕疵纵向坩埚厚度采集组与瑕疵横向坩埚厚度采集组的交集,定位得到瑕疵坩埚,并剔除瑕疵坩埚;
步骤七,完成坩埚厚度测量。
2.根据权利要求1所述的一种坩埚厚度测量方法,其特征在于,所述的将被测坩埚按照设定的阵列参数进行排列,得到坩埚厚度采集阵列,包括:所述的阵列参数包括横向坩埚数量以及纵向坩埚数量,根据横向坩埚数量以及纵向坩埚数量对被测坩埚进行排列,并依次进行坩埚编号,得到坩埚厚度采集阵列。
3.根据权利要求2所述的一种坩埚厚度测量方法,其特征在于,所述的以横向为厚度采集方向,根据坩埚厚度采集阵列的行数,分为多个横向坩埚厚度采集组,包括:根据坩埚厚度采集阵列的行数,每一行包括的坩埚数量以及坩埚编号,构成横向坩埚厚度采集组。
4.根据权利要求3所述的一种坩埚厚度测量方法,其特征在于,所述的厚度采集设备在设定厚度采集距离分别获取各个横向坩埚厚度采集组的厚度数据,得到坩埚厚度采集阵列横向厚度数据序列,包括:厚度采集设备在设定的厚度采集距离采集横向坩埚厚度采集组两端的距离,其中的厚度采集距离为设置在横向坩埚厚度采集组两端的厚度采集设备,与各自坩埚的距离的和,横向坩埚厚度采集组两端的距离减去采集距离,得到横向坩埚厚度采集组的厚度数据,所有的横向坩埚厚度采集组的厚度数据,构成坩埚厚度采集阵列横向厚度数据序列。
5.根据权利要求4所述的一种坩埚厚度测量方法,其特征在于,所述的以纵向为厚度采集方向,根据坩埚厚度采集阵列的列数,分为多个纵向坩埚厚度采集组,包括:根据坩埚厚度采集阵列的列数,每一列包括的坩埚数量以及坩埚编号,构成纵向坩埚厚度采集组。
6.根据权利要求5所述的一种坩埚厚度测量方法,其特征在于,所述的厚度采集设备在设定厚度采集距离分别获取各个纵向坩埚厚度采集组的厚度数据,得到坩埚厚度采集阵列纵向厚度数据序列,包括:厚度采集设备在设定的厚度采集距离采集纵向坩埚厚度采集组两端的距离,其中的厚度采集距离为设置在纵向坩埚厚度采集组两端的厚度采集设备,与各自坩埚的距离的和,纵向坩埚厚度采集组两端的距离减去采集距离,得到纵向坩埚厚度采集组的厚度数据,所有的纵向坩埚厚度采集组的厚度数据,构成坩埚厚度采集阵列纵向厚度数据序列。
7.根据权利要求6所述的一种坩埚厚度测量方法,其特征在于,所述的根据横向坩埚厚度采集组和标准坩埚横向厚度数据,得到坩埚厚度采集阵列横向厚度标准数据,包括:所述的标准坩埚横向厚度数据为坩埚横向尺寸,根据横向坩埚厚度采集组包含的坩埚数量,得到坩埚厚度采集阵列横向厚度标准数据。
8.根据权利要求7所述的一种坩埚厚度测量方法,其特征在于,所述的根据纵向坩埚厚度采集组和标准坩埚纵向厚度数据,得到坩埚厚度采集阵列纵向厚度标准数据,包括:所述的标准坩埚纵向厚度数据为坩埚纵向尺寸,根据纵向坩埚厚度采集组包含的坩埚数量,得到坩埚厚度采集阵列纵向厚度标准数据。
9.根据权利要求8所述的一种坩埚厚度测量方法,其特征在于,所述的根据瑕疵纵向坩埚厚度采集组与瑕疵横向坩埚厚度采集组的交集,定位得到瑕疵坩埚,包括:根据瑕疵纵向坩埚厚度采集组与瑕疵横向坩埚厚度采集组,包括的相同编号的坩埚为瑕疵坩埚。
10.一种坩埚厚度测量装置,其特征在于,应用权利要求1‑9任一所述的一种坩埚厚度测量方法,包括厚度测量模块、阵列参数设定模块、数据处理模块、坩埚编号模块、通信模块和显示模块;
所述的厚度测量模块、阵列参数设定模块、坩埚编号模块、通信模块和显示模块分别与所述的数据处理模块连接;
所述的厚度测量模块用于测量横向坩埚厚度采集阵列厚度和纵向坩埚厚度采集阵列厚度;包括第一厚度测量模块和第二厚度测量模块,所述的第一厚度测量模块和第二厚度测量模块分别设置在横向坩埚厚度采集阵列或者纵向坩埚厚度采集阵列两侧;
所述的阵列参数设定模块用于设定坩埚厚度采集阵列行数据和列数据;
所述的坩埚编号模块用于坩埚进行编号。