1.一种用于二氧化硅厚膜退火装置，其特征在于，包括：

炉体(1)；

两保温门(2)，其呈对称的滑动连接在炉体(1)内，并将炉体(1)内的空间分隔为退火腔(11)和缓冲腔(12)，炉体(1)上开设有投料口(13)，投料口(13)位置处铰接有封堵门(14)；

转动机构(3)，其包括转动连接在退火腔(11)内的转轴(31)，转轴(31)上共轴固定连接有转盘(32)，转盘(32)上呈圆周阵列地开设有多个放置槽(33)；

多个支撑机构(4)，各支撑机构(4)分别一一对应地设置在各放置槽(33)，每个支撑机构(4)均包括转动连接在放置槽(33)内的第一支撑环(41)，第一支撑环(41)的内周面上开设有波浪槽(412)，放置槽(33)内固定连接有固定座(43)，固定座(43)上竖向滑动连接有第二支撑环(42)，第二支撑环(42)上固定连接有第一抵接杆(422)，抵接杆(422)与波浪槽(412)滑动抵接配合，第一支撑环(41)上共轴固定连接有蜗轮(44)，放置槽(33)内转动连接有与蜗轮(44)啮合的蜗杆(45)，蜗杆(45)上共轴固定连接有齿轮(46)，退火腔(11)内固定连接有第一齿条(47)和第二齿条(48)，齿轮(46)分别与第一齿条(47)和第二齿条(48)啮合配合；

第二齿条(48)与第一齿条(47)均为弧形，且第二齿条(48)与第一齿条(47)的轴线与转轴(31)的轴线重合；

第二齿条(48)的弧长是第一齿条(47)弧长的两倍；

移动平台(5)，其设置在炉体(1)内，并沿炉体(1)的长度方向直线滑动，移动平台(5)沿第一方向滑动的行程，驱使两保温门(2)呈相互背离的滑动打开；移动平台(5)沿第二方向滑动的行程，驱使两保温门(2)呈相互靠近的滑动关闭。

2.根据权利要求1所述的一种用于二氧化硅厚膜退火装置，其特征在于，炉体(1)内开设有平移槽(15)，移动平台(5)滑动连接在平移槽(15)内，炉体(1)内转动连接有螺杆(6)，螺杆(6)与移动平台(5)螺接。

3.根据权利要求1所述的一种用于二氧化硅厚膜退火装置，其特征在于，两保温门(2)的底部均固定连接有第二抵接杆(21)，移动平台(5)的两侧均固定连接有导向框(51)，两导向框(51)上均开设有缺口(511)，两第二抵接杆(21)分别一一对应地与两导向框(51)滑动抵接配合。

4.根据权利要求1所述的一种用于二氧化硅厚膜退火装置，其特征在于，还包括趋升机构(8)，其包括滑动杆(81)，炉体(1)的内壁上开设有滑槽(16)，滑动杆(81)滑动连接在滑槽(16)内，滑动杆(81)与滑槽(16)之间设置有弹簧(84)，滑动杆(81)上固定连接有抵接板(82)，抵接板(82)上开设有抵接槽(83)，移动平台(5)上固定连接有竖板(52)，竖板(52)上竖向滑动连接有送料板(53)，送料板(53)上贴靠配合有硅片，送料板(53)上固定间接有第三抵接杆(54)，第三抵接杆(54)与抵接槽(83)抵接配合。

5.根据权利要求4所述的一种用于二氧化硅厚膜退火装置，其特征在于，还包括单向传动机构(7)，其包括转动连接在转轴(31)上的棘轮(71)，棘轮(71)的周面上呈圆周阵列地固定连接有多个齿牙(73)，转轴(31)上弹性转动连接有棘爪(72)，棘爪(72)与棘轮(71)卡接配合，竖板(52)上固定连接有第三齿条(55)，第三齿条(55)与各齿牙(73)啮合配合。

6.根据权利要求1所述的一种用于二氧化硅厚膜退火装置，其特征在于，第一支撑环(41)上呈圆周阵列地开设有多个第一通槽(411)，第二支撑环(42)上呈圆周阵列地开设有多个第二通槽(421)，且第一通槽(411)与第二通槽(421)相互交错设置。

7.根据权利要求4所述的一种用于二氧化硅厚膜退火装置，其特征在于，滑槽(16)由水平开设的第一段(161)和斜向上方开设的第二段(162)连通组成。

8.根据权利要求4所述的一种用于二氧化硅厚膜退火装置，其特征在于，送料板(53)呈半圆形。