1.一种微波介质陶瓷材料的制备方法,其特征在于,所述微波介质陶瓷材料,化学式为MgSi1‑xGexO3,其中0.1
步骤(2)、将步骤(1)得到的所述粉料进行造粒、过筛、成型,得到生坯;
步骤(3)、将步骤(2)得到的生坯在1300 1390℃烧结,得到陶瓷;所述烧结工艺包括:以~
2℃/min的速率升温至650℃排胶3h,以5℃/min的速率升温至1300 1390℃烧结5h,以1.5~℃/min的速率降温至600℃后随炉冷却至室温。
2.根据权利要求1所述的微波介质陶瓷材料的制备方法,其特征在于,所述步骤(1)中,所述原料在称取前进行预处理操作,所述预处理操作包括:对所述MgO在900℃煅烧3h,所述SiO2和GeO2在称量前需要在80℃烘干24h。
3.根据权利要求1所述的微波介质陶瓷材料的制备方法,其特征在于,步骤(1)中,所述球磨的时间为24h,转速为220r/min,每隔30min换向。
4.根据权利要求1所述的微波介质陶瓷材料的制备方法,其特征在于,所述步骤(1)中,所述预烧工艺包括:升温速率为5℃/min,升温到1250℃预烧3h;以2℃/min的降温速率,降温到800℃;之后随炉降温。
5.根据权利要求1所述的微波介质陶瓷材料的制备方法,其特征在于,所述步骤(2)中,所述造粒工艺包括:使用浓度为10wt%的聚乙烯醇水溶液作为粘合剂,所述粘合剂的加入量占步骤(1)得到的粉料质量的10%;所述过筛使用的是40目的标准筛,所述成型采用直径为
12mm的钢制模具,在80 100MPa的压力下压制成高度为3 5mm,直径为12mm的圆柱形坯体。
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6. 根据权利要求1所述的制备方法制得的微波介质陶瓷材料,其特征在于,介电常数为5.8 7.2,Qf值为40,500~140,000GHz@13GHz,谐振频率温度系数为‑52 ‑31 ppm/~ ~℃。
7. 根据权利要求6所述的微波介质陶瓷材料在5G/6G通信领域中的应用,其特征在于,在高频微波频率范围下,所述高频微波频率为13GHz,将所述微波介质陶瓷材料用于器件基板、谐振器、滤波器,所述微波介质陶瓷材料的应用性能参数为:介电常数为5.8 7.2,Qf~值为40,500~140,000GHz@13GHz,谐振频率温度系数为‑52 ‑31 ppm/℃。
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